首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '于新峰', 共找到 14个内容。

   将选定结果: 

 双体光栅外腔二极管激光器光谱特性研究

王军阵 朱 忠 于新峰 周 军

[摘要]为了研究双体布喇格光栅外腔二极管激光器的衍射特性, 采用一块体布喇格光栅与一块横向啁啾体布喇格光栅组成双体布喇格光栅, 理论分析了组合前后体布喇格光栅的衍射特性, 实验研究了双体布喇格光栅外腔二极管激光器的...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(01):108

 光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试

彭海峰 于新峰 秦硕

[摘要]恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能,设计了一个小比例水套模型。恒温温控系统对其提供±0.001 ℃的去离子水,通过对比三镜光机系统温度变化及热像差变化...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(08):081201

 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析

东立剑 赵磊 张德福 于新峰 倪明阳 李显凌

[摘要]为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5 像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(07):072203

 夹紧力作用下镜面变形及夹紧重复性研究

周连生 于新峰 张巍

[摘要]利用有限元方法对运动学支撑夹紧力引起的镜片光学表面变形进行静力学分析,并应用Zernike 多项式对镜片表面的变形进行了拟合。结果表明,夹紧力作用下镜片表面产生的几种主要像差为Defocus、Pri Trefoil 和PriHexafo...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(01):012203

 横向啁啾体布拉格光栅外腔二极管激光器光谱特性研究

王军阵 汪岳峰 于新峰 任永学 白慧君 雷呈强

[摘要]采用光束传输法分析了横向啁啾体布拉格光栅的衍射特性,实验研究了横向啁啾体布拉格光栅外腔二极管激光器的功率特性、光谱特性和波长调谐特性,数值计算和实验结果表明:横向啁啾体布拉格光栅的峰值衍射效率随着入射...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(05):0515002

 具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构

赵 磊 彭海峰 于新峰 东立剑

[摘要]光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS 值优于1~2 nm 的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(10):43

 精密光学系统的热像差

张巍 于新峰 周连生 王学亮 倪明阳 彭海峰

[摘要]为了精确控制与补偿物镜的热像差, 设计了一套三镜实验光学系统, 基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验, 并与仿真结果进行了对比。最后, ...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(11):3033

 基于小物镜系统的热像差影响因素分析

周连生 于新峰 吴志会 芮大为 张巍

[摘要]光机热集成分析是光机结构设计中的重要环节,对光学系统像质的预测与补偿有着重要的参考价值。针对小物镜系统,进行光机热集成分析,结果表明该系统产生的热像差较大,影响系统光学性能,其中温度升高导致折射率变化...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(09):092204

 贯通导体及其电路对金属腔体内部电磁场的影响

李凯 魏光辉 潘晓东 刘国红 李新峰 刘心愿 孟祥凤

[摘要]为研究贯通导体及其负载电路对金属腔体内部电磁场的影响, 建立了不同贯通导体端接负载模型, 使用电磁仿真软件CST进行仿真, 利用GTEM室、矢量网络分析仪、功率放大器、ETS电场探头组建实验测试系统, 验证了仿真结果的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(08):083201

 基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性

于新峰 巩岩 倪明阳 秦硕

[摘要]根据高精度投影光刻物镜的特点, 提出了一种运动学支撑结构, 并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变形以及重复装配过程中透镜光学表面面形的复现性。首先, 介绍了运动学支撑结构的原理...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(08):2000-2007

 热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模

秦硕 巩岩 于新峰 袁文全 彭海峰 杨怀江

[摘要]针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题, 搭建了投影物镜温控实验平台; 研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法, 建立了超高精度温度响应模型。首先, 考虑光刻机对...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(11):2829-2835

 同轴电缆连续波电磁辐照的终端负载响应

潘晓东 魏光辉 李新峰 卢新福

[摘要]为了揭示设备互连电缆在连续波电磁辐照条件下的耦合响应规律,以典型射频同轴电缆为受试对象,将电缆终端连接的设备(系统)等效为负载,通过对其进行连续波电磁辐照效应试验研究,分析了受试电缆长度、终端负载状态等...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(07):1579-1583

 太赫兹波传播过程中横模分布的成像

孙红起 赵国忠 田艳 贾新峰 王洋 石小溪 梁卫华

[摘要]研究了焦点位置附近太赫兹波的横模分布,目的在于了解系统中太赫兹波的横向分布情况,为进行太赫兹光谱和成像实验提供依据。 通过太赫兹波逐点扫描成像,对经常被用来放置测试样品位置附近的太赫兹波横模分布情况进行了...

 PDF全文中国激光 | 2006, 33(09):1225-1229

 脉冲闪光灯旧电极的再次利用

过传良 韩新峰 李伟斌

[摘要]

 PDF全文中国激光 | 1980, 7(10):59

首页上一页1下一页尾页