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 热压增大光刻胶光栅占宽比的方法及其应用

郑衍畅 胡华奎 邱克强 王 海 徐向东 付绍军

[摘要]全息光刻-单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作大高宽比硅光栅的一种重要方法, 而如何增大光刻胶光栅的占宽比, 以提高制作工艺宽容度和光栅质量是急需解决的问题。本文提出了一种热压增大光刻胶光栅占宽比的方法, 该方法通过...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(01):94

 用于太空望远镜的大口径薄膜菲涅尔衍射元件

张 健 栗孟娟 阴刚华 焦建超 刘正坤 徐向东 付绍军

[摘要]为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400 mm 的聚酰亚胺(PI)薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到 PI...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(06):1289

 大尺寸熔石英采样光栅的研究进展

刘 颖 刘正坤 邱克强 饶欢乐 蒋晓龙 陈火耀 徐向东 洪义麟 付绍军

[摘要]综述了近五年来为神光装置研制大口径熔石英采样光栅所取得的主要进展。提出了大尺寸采样光栅的化学机械抛光技术, 将全息光刻-离子束刻蚀的430 mm口径采样光栅的采样效率均匀性控制在均方根值低于5%, 满足了采样光栅的...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(12):2896

 宽带镀金正弦光栅

毕拉力 邱克强 郑衍畅 徐向东 付绍军

[摘要]为了满足强激光系统中大尺寸镀金光栅对糟深均匀性的要求, 采用梯形光栅-涂胶-离子束溅射镀膜和全息光刻-离子束溅射镀膜两种方法, 分别制作了线密度为1 740 线/mm, 槽深为210 nm 的宽带镀金正弦光栅.测得其TM波、-1...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(04):0405002

 用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作

王宇 陈火耀 刘正坤 郑衍畅 洪义麟 付绍军

[摘要]介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料, 将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明, 该工艺...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(04):0405001

 带有实时温度补偿功能的微型光谱仪研制

宝剑光 刘正坤 陈火耀 林继平 付绍军

[摘要]解调飞机上变栅距光栅位移传感器的微型光谱仪在受到严重的高低温冲击后会出现温度漂移.针对航空领域中变栅距光栅位移传感器的解调系统研制了一种具有实时温度补偿功能的微型光纤光谱仪.为了实现实时温度补偿,分析了温...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2015, 35(05):1409

 软X射线双频光栅干涉诊断等离子体

王琛 安红海 刘正坤 王伟 方智恒 贾果 熊俊 乔秀梅 付绍军 郑无敌 王世绩

[摘要]针对高温稠密激光等离子体临界密度附近电子密度的诊断需求,发展了基于软X射线激光的软X射线双频光栅干涉诊断技术.利用波长13.9 nm的类镍银软X射线激光作为探针,掠入射式的双频光栅作为分光干涉元件,对激光辐照金平面...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(06):062003

 弯月面涂胶均匀性改进

林继平 刘正坤 洪义麟 蒋晓龙 邱克强 刘颖 徐向东 付绍军

[摘要]针对大面积衍射光学元件制作过程中对光刻胶均匀涂覆的困难,研究弯月面均匀涂胶方法。利用沟槽型弯月面涂胶机,分析影响光刻胶厚度和厚度均匀性的因素。从实验上验证了光刻胶的胶厚和涂覆扫描速率的正相关关系。分析...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(12):121003

 软X射线双频光栅干涉诊断等离子体

王琛 安红海 刘正坤 王伟 方智恒 贾果 熊俊 乔秀梅 付绍军 郑无敌 王世绩

[摘要]针对高温稠密激光等离子体临界密度附近电子密度的诊断需求,发展了基于软X射线激光的软X射线双频光栅干涉诊断技术.利用波长13.9 nm的类镍银软X射线激光作为探针,掠入射式的双频光栅作为分光干涉元件,对激光辐照金平面...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2015, 13(01):062003

 基于俯视SEM图像的矩形光栅占宽比检测方法

吴丽翔 刘颖 饶欢乐 邱克强 付绍军

[摘要]提出了一种利用俯视SEM图像检测矩形光栅占宽比的新方法。对目标检测图像进行灰度轮廓预处理,接着进行基于动态规划和最小二乘样条逼近的边缘检测,最后按照设定的量化评价标准,计算出目标区域内的光栅占宽比的平均值...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(03):446-451

 90°顶角中阶梯光栅的研制

王琦 郑衍畅 邱克强 刘正坤 徐向东 付绍军

[摘要]结合单晶硅各向异性腐蚀和倾斜光刻技术,在14°斜切(110)单晶硅片上成功制作出90°顶角的中阶梯光栅。在1500~1600 nm波段对其进行了闪耀级次衍射效率测量,测量结果的趋势与C方法计算结果基本吻合,其中在150...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0905001

 软X射线并联平场光栅的设计

王庆博 刘正坤 陈火耀 王宇 付绍军

[摘要]为了拓宽软X射线平场全息凹面光栅的工作波段, 提出了并联平场全息凹面光栅的优化设计方法。利用遗传算法, 将两块工作波段不同的平场光栅设计在同一基底上。两块平场光栅的工作波段分别为2~5 nm 和5~30 nm, 两者使用结...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0805001

 弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量

林继平 梁榉曦 刘正坤 王庆博 宝剑光 洪义麟 付绍军

[摘要]为实现大面积基片的均匀涂胶,设计组装了一台小型弯月面涂胶样机,实验了200 mm×200 mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了弯月面涂胶的胶厚分布,其胶厚均匀性峰谷值偏差低于5%。对弯月面涂胶系统引起的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(10):101017

 利用软X射线双频光栅剪切干涉技术诊断金等离子体

王琛 安红海 王伟 方智恒 贾果 孟祥富 孙今人 刘正坤 付绍军 乔秀梅 郑无敌 王世绩

[摘要]激光辐照靶产生的等离子体电子密度的诊断对于惯性约束聚变、等离子体物理、高能量密度物理等相关领域的研究具有重要意义, 特别是中、高Z 材料等离子体临界面附近的电子密度分布信息的测量. 采用波长13.9 nm 的类镍银...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2014, 12(01):125210

 氧化铈抛光改善光束采样光栅衍射效率均匀性

饶欢乐 刘正坤 刘颖 蒋晓龙 邱克强 徐向东 洪义麟 付绍军

[摘要]作为强激光系统的终端组件之一,光束采样光栅是制作在熔石英基底上的浅槽光栅。利用熔石英的传统化学机械抛光技术,修正熔石英光束采样光栅的槽型轮廓,降低局部偏高的衍射效率,以提高光束采样光栅的整体效率均匀性...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(07):1609-1610

 软X射线双频光栅设计及制作

刘正坤 刘颖 邱克强 徐向东 付绍军

[摘要]以软X射线双频光栅作为剪切干涉元件, 研究了剪切干涉法在激光等离子体诊断实验中的应用。为提高实验成功率, 研究了双频光栅栅线的平行度及光栅效率。根据软X射线双频光栅栅线平行度与剪切干涉系统的干涉图像的关系, ...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(07):1780-1785

 成像型任意反射面速度干涉仪测速精度检测

王伟宁 王峰 江少恩 付绍军

[摘要]基于神光Ⅲ原型装置,提出了一种对成像型任意反射面速度干涉仪(VISAR)测量冲击波速度的精度进行实验检验的方法。针对一般双灵敏度VISAR存在的多值问题,该方法利用厚度已知的样品获得了准确的冲击波速度历史曲线图,...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(09):2121-2124

 提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法

陈上碧 盛斌 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化。实验结果表明, 氧等离子体处理能有效去除光栅表面...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(11):2631-2636

 大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀

邱克强 周小为 刘颖 徐向东 刘正坤 盛斌 洪义麟 付绍军

[摘要]总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450 mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(08):1676-1683

 用于1 m Seya-Namioka单色仪的1 200 lp/mm Laminar光栅

徐向东 刘正坤 邱克强 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]针对国家同步辐射实验室燃烧与火焰实验站中1 m Seya-Namioka 单色仪对光栅的需求, 采用全息离子束刻蚀工艺制作了1 200 lp/mm Laminar光栅。首先, 通过光刻胶灰化技术调节光刻胶光栅掩模占空比, 在理论设计的误差允许...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(01):1-8

 角分辨光电子能谱光束线1200 line/mm光栅研制

徐向东 刘正坤 邱克强 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]国家同步辐射实验室新建了覆盖5~40 eV的低能区高分辨率角分辨光电子能谱光束线。其球面光栅单色仪包含了三块光栅,即300,600和1200 line/mm球面层式(Laminar)光栅。采用全息离子束刻蚀工艺,在硅光栅基片上成功地...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(10):1005008

 HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗

陈上碧 盛斌 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(08):2106-2110

 大面积软X射线自支撑金透射光栅的研制

邱克强 刘正坤 陈火耀 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]针对等离子体诊断及空间环境探测等领域对软X射线透射光栅的需要,采用全息光刻和微电镀技术制作了自支撑软X射线金透射光栅。在基底与光刻胶之间增加减反膜层以降低高反射基底引起的驻波效应对掩模槽形的影响,使用全...

 PDF全文光学 精密工程 | 2011, 19(11):2589-2595

 利用合肥同步辐射光源U27光束线测量45-110 nm波段光学元件效率

贺胜男 刘颖 邱克强 周洪军 霍同林 付绍军

[摘要]针对合肥同步辐射光源U27光束线高次谐波干扰问题,本文提出了在不改动现有装置的情况下测量45-115nm波段光学元件效率的解决方法。首先用振幅型透射光栅定量分析基波与各级次谐波的比例,分别测量元件在高谐波波段的效...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(12):1131

 真空紫外硅闪耀光栅的制作

盛斌 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]利用单晶硅在KOH溶液中的各向异性刻蚀特性,在相对Si(111)面切偏角为5°的单晶片上制作了1 200 gr/mm的真空紫外闪耀光栅。结合全息干涉曝光以及光刻胶灰化技术,在单晶硅表面得到了小占宽比的高质量光刻胶掩模,...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(01):94-99

 离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究

干蜀毅 刘正坤 盛斌 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军

[摘要]根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜,研究了基片、表面厚度、离子束能量及...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(05):1207-1211

 13.9 nm Laminar分束光栅的研制

谭鑫 刘颖 徐向东 洪义麟 付绍军

[摘要]利用全息-离子束刻蚀工艺制作了工作波长为13.9 nm的Laminar分束光栅。光栅的线密度为1 000 lp/mm,槽深13 nm,占宽比0.43,Au膜厚度为40 nm左右;当工作波长为13.9 nm,入射角为81.2°时,其0级与-1级衍射光衍射效率乘...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(01):33-37

 国家同步辐射实验室反射率计误差分析

干蜀毅 刘正坤 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军

[摘要]中国科技大学国家同步辐射实验室“光谱辐射标准与计量实验站”上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性, 在大量实验数据的基础上, 结合必要的理论推导...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(11):2136-2142

 电子束蒸发沉积Ir膜真空紫外反射特性

干蜀毅 刘正坤 盛斌 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军

[摘要]Ir是一种重要的真空紫外反射材料,在太阳物理、宇宙物理、生命科学、大气物理、同步辐射等方面有着十分重要的应用。对电子束蒸发沉积Ir膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的理论和实验研究。根据吸收材料基底上单层...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(10):2036-2040

 变栅距光栅光谱分辨研究

刘正坤 谭鑫 徐向东 洪义麟 付绍军

[摘要]基于夫琅禾费衍射理论,推导了平行光入射变栅距光栅后衍射光强的角度分布。计算了变栅距光栅参数相同,入射光斑宽度分别为5 mm和10 mm时,衍射光的分布特点和变栅距光栅参数不同,入射光斑宽度为10 mm时,衍射光的分布特点...

 PDF全文光学 精密工程 | 2008, 16(07):1153-1157

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