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 光刻机照明系统中光束稳定技术研究

鲍建飞 黄立华 曾爱军 任冰强 杨宝喜 彭雪峰 胡小邦 黄惠杰

[摘要]光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(09):0908004

 靶镜光学质量检测技术的研究

刘丹 黄惠杰 任冰强 徐德衍 曾爱军 王向朝

[摘要]提出了一种利用扫描型哈特曼检测装置检验靶镜光学质量的技术.该装置对传统哈特曼检验装置的光阑进行了改进,通过扫描型哈特曼光阑的旋转扫描,可对被检靶镜全口径范围内连续采样.利用该扫描型哈特曼检测装置对一块口径...

 PDF全文光子学报 | 2007, 36(05):926-929

 扫描型哈特曼检验方法及其在像差测量中的应用

刘丹 黄惠杰 任冰强 曾爱军 闫岩 王向朝

[摘要]提出了一种扫描型哈特曼检验方法并分析了其测量原理。在传统哈特曼检验装置的基础上改用扫描型哈特曼屏即形成了扫描型哈特曼检验装置。利用哈特曼屏的旋转与哈特曼光阑的优化设计,该方法可对被检元件的像差实现全孔...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2006, 4(12):725

 激光尘埃粒子计数器微型光学传感器的研究

梁春雷 黄惠杰 任冰强 赵永凯 杜龙龙

[摘要]研制成功便携式激光尘埃粒子计数器的核心部件——微型光学传感器。该传感器采用直角散射光收集形式,以高功率半导体激光器作为光源,同时采用高性能的PIN型光电二极管作为光电探测器。散射光收集系统为单一大数值孔径的...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(09):1260-1264

 基于上转换发光技术的生物传感器及其应用

赵永凯 周蕾 黄惠杰 杨瑞馥 黄立华 任冰强 卢健 王向朝

[摘要]为实现对特定生物分子的高灵敏度快速检测与分析,采用上转换发光材料作为标记物,研制成功一台基于上转换发光技术的新型光学免疫生物传感器。该传感器利用上转换发光材料在红外光激发下发射可见磷光的特性,通过对免疫层...

 PDF全文光学学报 | 2005, 25(06):841-847

 扫描型哈特曼检测装置研究

刘丹 闫岩 任冰强 赵永凯 黄立华 黄惠杰 王向朝

[摘要]在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为φ300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量.该检测装置由大口径标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机及计算机组成,...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2005, 17(09):1377-1381

 多探头光纤倏逝波生物传感器及其性能研究

黄惠杰 翟俊辉 赵永凯 杨瑞馥 任冰强 程兆谷 杜龙龙 路敦武

[摘要]利用光纤倏逝波原理,以输出波长为635 nm的半导体激光器为光源,研制成功一台具有5个探头的光纤生物传感器。该传感器5个光纤探头对纯净Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度均达0.01 nmol/L,在同一浓度下信噪比的相对标准偏差小...

 PDF全文中国激光 | 2004, 31(06):718-722

 光学元件损伤在线检测装置及实验研究

任冰强 黄惠杰 张维新 赵永凯 韩广礼 杜龙龙 王树森 路敦武

[摘要]利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究.与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2004, 16(04):465-468

 光纤倏逝波生物传感器及其应用

黄惠杰 翟俊辉 任冰强 杨瑞馥 赵永凯 程兆谷 杜龙龙 路敦武

[摘要]以光纤倏逝波原理,研制成功一台光纤倏逝波生物传感器。该传感器对纯净的Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度达0.01 μmol/l;对浓度为0.01 μmol/l的嗜肺军团菌核酸样品的测量信噪比为4.61。所有检测结果与商品化生物芯片扫描...

 PDF全文光学学报 | 2003, 23(04):451-454

 尘埃粒子的半导体激光散射测量

黄惠杰 赵永凯 任冰强 程兆谷 杜龙龙 路敦武

[摘要]以半导体激光为光源,建立了一个可以实时测量空气中尘埃粒子的尺寸与颗粒数浓度的光学系统.根据Mie散射理论,计算了该光学系统的光散射响应特性.实验结果表明,该系统具有高的计数准确度、计数效率和计数重复性,适用于洁...

 PDF全文中国激光 | 2002, 29(12):1117-1121

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