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 超高精度面形干涉检测技术进展

侯溪 张帅 胡小川 全海洋 吴高峰 贾辛 何一苇 陈强 伍凡

[摘要]深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展, 超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级, ...

 PDF全文光电工程 | 2020, 47(08):200209

 K-B镜面形高精度检测技术研究进展

张帅 侯溪

[摘要]以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影...

 PDF全文中国光学 | 2020, 13(04):660-675

 测量不确定度在干涉面形检测领域的研究现状及进展

全海洋 侯溪 伍凡

[摘要]评定测量不确定度是改进面形检测实验室质量的有效途径。为了促进测量不确定度在干涉面形检测领域的普及和应用,综述了近年来国内外在干涉面形检测领域中测量不确定度评估方法的研究现状和最新进展。介绍了量值溯源和...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(06):060004

 曲率半径干涉测量定焦误差分析

毛洁 侯溪 伍凡

[摘要]为了提高曲率半径定焦准确度, 从移相干涉仪, 标准镜头透射波前误差, 被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发, 分析影响干涉仪定焦准确度的各因素, 并给出各误差补偿表达式.通过对比实验发现, 在猫眼及共焦位置...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(07):0712003

 基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析

徐燕 吴永前 李世芳 万勇建 侯溪

[摘要]目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声, 为了提高干涉检测精度, 必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用 Zemax干涉仪建模分析了环形...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(02):84

 动态随机球的标定误差与测量次数的关系

陆黎明 伍 凡 侯 溪 李良红

[摘要]本文介绍了随机球标定技术的原理。针对随机球标定方法的两种方法(静态法和动态法),本文分别分析了两种方法的标定误差与测量次数之间的关系。依据数理统计原理和合理的假设,理论分析表明静态法是一种特殊的动态法。...

 PDF全文光电工程 | 2012, 39(03):83-87

 基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究

宋伟红 伍凡 侯溪

[摘要]绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(08):0812006

 基于子孔径拼接的Hindle球检测法

闫锋涛 范斌 侯溪 伍凡

[摘要]为了能够准确获取基于子孔径拼接的Hindle球检测大口径双曲面镜的Hindle球参数, 研究了Hindle球检测凸双曲面镜的理论模型, 并从几何光学入手, 讨论了基于子孔径拼接的Hindle球检测法的系统结构, 推导了符合子孔径拼接...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(11):2555-2559

 高精度淹没射流抛光技术研究

施春燕 袁家虎 伍凡 侯溪

[摘要]针对射流抛光去除函数不理想问题,提出一种新的淹没射流抛光方式。通过实验研究表明,淹没射流抛光能获得中心有最大去除的高斯形状分布的去除函数,材料去除率受淹没喷射距离的影响。采用一块Φ32mm的BK7平面玻璃应用...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(09):092201

 旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析

杨 鹏 伍 凡 侯 溪

[摘要]为满足光学元件的高精度检测要求,绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程中。然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高。在某些只需要获得旋转非对...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(01):93-97

 基于平移旋转的球面绝对检测技术仿真分析

宋伟红 伍凡 侯溪 杨鹏

[摘要]基于平移旋转的球面绝对检测技术是一种实现高精度面形测量的有效手段。通过绕光轴多次等角度旋转被测球面测得被测面面形误差的旋转非对称部分,并由共心平移被测球面恢复出被测面面形误差的旋转对称部分,合成即可得...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(12):3229-3234

 稀疏子孔径采样检测大口径光学器件

闫锋涛 范斌 侯溪 伍凡

[摘要]针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(12):3193-3196

 射流抛光中垂直喷射材料去除模型

施春燕 袁家虎 伍凡 侯溪 万勇建

[摘要]研究射流抛光中材料去除模型对于精密光学加工过程十分重要,本文基于计算流体动力学仿真了流体喷射抛光。通过平衡模型方法对磨料离散系统进行了数字研究和理论描述。并实验研究垂直喷射抛光去除轮廓。实验和仿真结果...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(03):323

 基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型

杨 鹏 伍 凡 侯 溪 吴高峰

[摘要]Fizeau 干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式,对于干涉仪的结构及其影响因素在理论上已进行了较广泛的研究。但如何对Fizeau 干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临的问题。本文首先简...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(11):98-102

 大型双曲面次镜面形检测技术现状及发展趋势

侯溪 伍凡

[摘要]随着以双曲面为次镜的两镜光学系统在天文和空间光学等领域的应用日趋广泛,双曲面次镜的口径和相对口径越来越大,由此对双曲面次镜的面形检测技术提出了很高的要求。本文基于国外有代表性的双曲面次镜参数分析了其基本...

 PDF全文中国光学 | 2010, 3(04):310-317

 子孔径拼接干涉检测大口径平面波前

汪利华 吴时彬 侯溪 匡龙 曹学东

[摘要]介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累。用该方法对Zemax 仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系...

 PDF全文光电工程 | 2009, 36(06):126-130

 干涉法测量非球面顶点半径和二次常数

吴高峰 陈强 侯溪 范斌

[摘要]非球面顶点半径和二次常数干涉测量是对二次曲面离轴子孔径在弧矢、子午和中间焦点位置直接干涉测量,拟合得到初级像差系数,并结合位置差计算出顶点曲率半径和二次常数。详细介绍了该方法的基本原理,在此基础上将子孔径...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(10):2804-2807

 射流抛光多相紊流流场的数值模拟

施春燕 袁家虎 伍凡 万勇健 侯溪

[摘要]理论分析了射流抛光的紊动冲击射流特点,构建了射流抛光的垂直冲击射流模型和斜冲击射流模型。根据射流抛光冲击射流的特点,比较各种流体模型后,采用RNG k-ε模型应用于射流抛光模型的计算。利用计算流体力学理论的二阶...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2009, 21(01):6-10

 凹非球面检测的双计算全息图设计及制作

谢意 陈强 伍凡 邱传凯 侯溪 张晶

[摘要]基于全息补偿检验非球面的原理,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。该全息图由主全息和对准全息两部分组成,用于检测非球面的主全息位于基底的中心,而对准全息位于其边缘,用来精确定位主全息,从而消除离焦、偏...

 PDF全文光电工程 | 2008, 35(06):59-62

 用双计算全息图检测凹非球面

谢意 陈强 伍凡 侯溪 张晶 吴高峰

[摘要]为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(07):1313-1317

 高精度大口径平面镜瑞奇-康芒定量检测的精度影响因素分析

田秀云 吴时彬 伍凡 陈强 侯溪 吴永前

[摘要]针对前人的数学模型,对瑞奇角、旋转角和系统波像差这几个主要精度影响因素进行了仿真分析。结果表明:当瑞奇角的测量误差控制在0.5°以内时,对测量结果影响很小;由于平面镜的面形误差是连续和旋转对称的,所...

 PDF全文光学技术 | 2007, 33(04):0632-634

 基于Zernike环多项式的环孔径波面拟合方法

侯溪 伍凡 杨力 陈强

[摘要]波面拟合分析是干涉测量技术中数据处理以得到所需信息和结果的一个重要环节.提出了一种通用的圆和环孔径波面拟合分析方法,选用在单位环域里正交的Zernike环多项式为拟合基函数.对比分析结果不仅表明了所提出方法的有...

 PDF全文红外与激光工程 | 2006, 35(05):523-526

 环形子孔径检测技术中测量数据的准确提取方法

侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强

[摘要]环形子孔径拼接测试技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称大口径非球面镜的有效手段.根据该技术的检测原理及基于Zernike多项式的"拼接"算法,提出了一种相应的环形子孔径数据提取方法.该方法基于商用相移...

 PDF全文光电工程 | 2006, 33(08):113-116

 中心遮拦干涉图的圆泽尼克拟合对计算赛德尔像差的影响分析

侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强

[摘要]从波像差的幂级数和圆泽尼克多项式展开理论入手,介绍了圆泽尼克多项式和赛德尔多项式之间的联系,理论上分析了圆泽尼克多项式在环域的相关性,着重讨论了以中心遮拦干涉图的圆泽尼克多项式拟合系数计算赛德尔像差系...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(01):54-62

 以环形子孔径法检测大口径非球面主镜的研究进展

侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强

[摘要]环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的"柔性"测试技术.介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和Zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2006, 18(05):705-708

 环形子孔径拼接检测大口径非球面镜的规划模型及分析

侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强

[摘要]环形子孔径拼接技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称大口径非球面镜的有效手段.根据该技术的检测原理,从几何光学的角度建立了子孔径规划模型,给出了模型数值求解的具体方法.以一口径为700 mm、中心遮拦为160mm、顶...

 PDF全文光学 精密工程 | 2006, 14(02):207-212

 环形子孔径拼接算法的精度影响因素分析

侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强

[摘要]优化的拼接算法是环形子孔径扫描测量大口径非球面光学元件的关键问题.针对一种基于离散相位值的环形子孔径拼接算法,从精度评定判据入手,对随机噪声、高阶噪声、重叠区宽度及子孔径数目这几个主要影响因素进行了数值仿...

 PDF全文光电工程 | 2005, 32(03):20-24

 子孔径拼接干涉测试技术现状及发展趋势

侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强

[摘要]子孔径拼接测试技术拓展了标准干涉仪的横向和纵向动态范围,能够以低成本、高分辨率检测大口径光学元件.按子孔径形状的不同,分别介绍了其工作原理,综述了该技术国内外20多年来的发展历史和技术现状,最后在分析比较的基...

 PDF全文光学与光电技术 | 2005, 3(03):50-53

 以环形子孔径扫描法测量大口径非球面的研究

侯溪 伍凡 吴时彬 陈强

[摘要]总结非球面常用检验方法在应用中优、缺点的基础上,使用环形子孔径扫描法来测量大口径非球面.这种方法使被测元件相对于参考波前的斜率差减小到干涉仪允许的测量范围内,每次测量仅是被测表面的一部分,通过算法实现数据...

 PDF全文光电工程 | 2004, 31(09):26-28

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