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 基于Zn2SiO4:Mn的成像器件紫外增强薄膜制备及表征

倪争技 刘猛 张大伟 黄元申 庄松林

[摘要]在CCD、CMOS等硅基光电成像器件的光敏面镀下变频薄膜将紫外波段的光变为可见波段的光,可实现CCD、CMOS等硅基光电成像器件的紫外响应。考虑Zn2SiO4:Mn粒子直径小,稳定性好,荧光量子效率高等优点,本文用“旋涂法”在石...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(09):2106-2111

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