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 离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响

冯毅东 秦 杨 于天燕

[摘要]对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象, 且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大, 薄膜结晶程度也增加。薄膜的非...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(10):103101

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