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 光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法

刘向阳

[摘要]为了进一步提高入射到光敏元上的光能, 针对光刻胶热熔法制备的微透镜的非球面面形, 提出了一种结合有限元光线追迹和拉格朗日乘子法的设计方法。给定焦距, 用该算法可以自动计算出所需的微透镜面形。为了验证算法的精...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(02):0208001

 基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟

刘向阳 徐国庆 贾 嘉 孙 艳 李向阳

[摘要]用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型, 模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证, 结果表明...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(03):331

 新型悬丝约束支撑微纳测头的变刚度特性分析

李保坤 刘向阳 杨洪涛 吴耀东

[摘要]针对传统微纳测量装置在测量过程中测头支撑机构刚度不可变化的问题, 设计了一种基于悬丝约束支撑的变刚度微纳测头。利用压电装置驱动柔顺导向机构产生位移, 以改变悬丝所受的轴向张紧力。基于应力刚化原理改变悬丝的...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(02):402

 一种前视阵列SAR系统的天线设计和分析方法

刘向阳 孟进 刘许刚 牛德智 赵海燕

[摘要]阵元数太多导致前视阵列SAR系统天线成本高和设计复杂,如何以较少的阵元数获取较高的成像质量是前视阵列SAR系统面临的重难点问题.根据系统成像质量要求,结合波束扫描、栅瓣抑制等技术,本文提出一种稀疏收发天线阵的...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(01):66

 多传感器分布式检测系统的跨层优化设计

刘向阳 宫强兵 毛志杰 赵占东

[摘要]目标检测就是判断被监测对象是否出现, 是无线传感器网络应用的首要前提。由于传感器节点协作执行检测任务, 因此, 应用于通信网中的解耦和最大吞吐量的网络设计不能使系统检测性能最优。提出了集成物理层、MAC层和应用...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(04):556

 感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性

乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳

[摘要]利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象, 等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):59

 离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进

贾 嘉 刘诗嘉 刘向阳 孙 艳 李向阳

[摘要]高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大, 沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机, 尝试了三种提高深宽比的方法: 选择不同的光刻胶做掩模、改变...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):282

 离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度

徐国庆 刘向阳 王仍 储开慧 汤亦聃 乔辉 贾嘉 李向阳

[摘要]用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔, 利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现, 在相同的刻蚀条件下, n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时, n...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(05):477

 聚合工艺对联苯侧链型聚酰亚胺薄膜取向性能的影响

陈胜亮 刘向阳 顾宜

[摘要]以4,4′二氨基二苯醚(ODA)、 3,5-二氨基苯甲酸{6-[4′-(苯基)苯氧基]}己基)酯(C6-DABBE)、4,4′-二苯醚四羧酸二酐(ODPA) 为单体,分别采用一步法和两步法共聚合成一系列含有联苯侧链的聚酰亚胺。采用衰减全反射红外光...

 PDF全文液晶与显示 | 2009, 24(05):656-660

 助熔剂法生长KTP晶体的物理化学过程(Ⅰ)

刘向阳 蒋民华

[摘要]本文深入研究了KTP晶体在不同磷酸盐助熔剂中的溶解过程、溶解度和晶体生长亚稳区的变化情况.结合溶液成份分析,讨论了各种变化规律和不同磷酸盐助熔剂对KTP晶体生长习性的影响.

 PDF全文中国激光 | 1988, 15(08):482-486

 高效激光倍频晶体KTP的生长及主要性能

刘跃岗 徐斌 韩建儒 刘向阳 蒋民华

[摘要]简要介绍了助熔剂法生长KTP晶体的过程。晶体最大尺寸为42.5×42.0×13.6mm,制成的器件在Nd:YAG锁模激光器上测得腔外倍频转换效率为65.1%,在准连续Nd:YAG激光器上获得平均绿光输出8.7W。

 PDF全文中国激光 | 1986, 13(07):438-441

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