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扫频光源OCT对单晶硅片制绒质量的检测
于海民 牛源 刘桂林 孟卓 姚晓天 李果华
[摘要]光学相干层析（OCT）是一种新型的光学信号获取与处理方式，它可以对光学散射介质进行扫描，获得的三维图像，分辨率可以达到微米级。尝试利用扫频光源OCT对在相同的制绒溶液配比下，不同制绒时间的单晶硅片进行检测，...
PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(02):021701
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