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 退火温度对分步溅射制备铜锌锡硫薄膜性能的影响

赵其琛 郝瑞亭 刘思佳 杨敏 陆熠磊 刘欣星 常发冉

[摘要]利用ZnS、SnS、CuS三种二元硫化物靶,分步溅射制备了铜锌锡硫(CZTS)薄膜, 并在不同温度下进行退火。研究了退火温度对薄膜晶体结构、组分、表面形貌及光学特性的影响。结果表明, 当退火温度为400 ℃时, CZTS薄膜中含有...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091601

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