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 基于空间光调制器的能量可控飞秒激光加工

饶生龙 吴培超 张晨初 胡衍雷 杨亮 劳召欣 吴东

[摘要]针对飞秒激光微纳加工技术中激光与加工样品相对运动的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的问题, 提出一种基于硅基液晶空间光调制器动态加载计算全息图同时控制焦点位置和能量的新型加工方法。该方法通过加载叠加闪耀光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0102008

 二维零位光栅自动纳米定位系统

李家文 陈宇航 胡衍雷 劳召欣 褚家如 黄文浩

[摘要]搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统。首先, 加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅; 然后, 分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路, 实现了系统数据采集、显示和运...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(09):2444

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