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 锆钛酸铅薄膜的生长与表征

张翊 潘峰 包达群 王建艳 郭航

[摘要]研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3, PZT)薄膜, 并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比, 配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(11):2893-2899

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