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 基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工

李以贵 蔡金东 黄远 吕曈 颜平 王欢

[摘要]利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题, 研究了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091403

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