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   将选定结果: 

 超高精度面形干涉检测技术进展

侯溪 张帅 胡小川 全海洋 吴高峰 贾辛 何一苇 陈强 伍凡

[摘要]深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展, 超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级, ...

 PDF全文光电工程 | 2020, 47(08):200209

 高精度干涉仪镜头支撑结构的光机集成分析

张娟 吴永前 伍凡 吴高峰

[摘要]根据高精度干涉仪镜头的工作状况,给出了平放时镜头的装卡方式。用 Ansys Workbench有限元分析软件对镜头由重力、支撑结构所导致的面形变化进行仿真分析,在对光机结构进行有限元分析的基础上,反复优化镜头机械结构...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(10):146-150

 计算全息检测离轴非球面的离散相位计算

李世杰 陈强 吴高峰 李良红 鲜林翰

[摘要]为了设计检测离轴非球面的计算全息图(CGH),需要对采样点的相位进行计算。通过平移和旋转,将离轴非球面几何中心的法线作为检测光路光轴。在此基础上,采用光线追迹法,对离轴非球面上采样点的相位分布进行了研究,...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(12):3163-3166

 基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型

杨 鹏 伍 凡 侯 溪 吴高峰

[摘要]Fizeau 干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式,对于干涉仪的结构及其影响因素在理论上已进行了较广泛的研究。但如何对Fizeau 干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临的问题。本文首先简...

 PDF全文光电工程 | 2010, 37(11):98-102

 干涉法测量非球面顶点半径和二次常数

吴高峰 陈强 侯溪 范斌

[摘要]非球面顶点半径和二次常数干涉测量是对二次曲面离轴子孔径在弧矢、子午和中间焦点位置直接干涉测量,拟合得到初级像差系数,并结合位置差计算出顶点曲率半径和二次常数。详细介绍了该方法的基本原理,在此基础上将子孔径...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(10):2804-2807

 用双计算全息图检测凹非球面

谢意 陈强 伍凡 侯溪 张晶 吴高峰

[摘要]为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(07):1313-1317

 Φ1.2 m F/1.5抛物面主镜补偿器

陈强 袁家虎 伍凡 高平起 吴高峰

[摘要]用于Φ1.2 m F/1.5主镜面形检验的补偿器,需要补偿0.087 mm的非球面度,并满足0.033λ(RMS)面形检测要求。介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况。主镜检测前用计算全息(CGH)对补偿器标校显...

 PDF全文光学 精密工程 | 2008, 16(08):1384-1388

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