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 环形子孔径扫描锥形镜面形检测方法研究

严焱 唐锋 王向朝 卢云君 郭福东

[摘要]提出一种新的基于环形子孔径扫描的锥形镜面形测量方法,该方法可实现大口径、不同锥角的锥形镜面形的通用化测量。使用微动扫描台移动锥形镜,同时测量待测锥面法线方向若干环带的相位,提取有效像素并通过插值拼接得到被...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(10):1004001

 平面子孔径拼接干涉测量精度分析

卢云君 唐锋 王向朝 郭福东

[摘要]如何提高子孔径拼接干涉测量精度是子孔径拼接系统的关键问题。针对一维平面子孔径拼接系统,分别采用两两拼接算法和误差均化拼接算法,进行拼接位移台定位误差、参考面面形误差和随机噪声对拼接精度影响的数值仿真与...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(04):0404002

 成像系统倍率高精度测量技术研究

董冠极 唐锋 王向朝 冯鹏 郭福东 彭常哲

[摘要]针对目前尚无高精度通用倍率测量方法与装置的问题,提出了基于双光纤点衍射干涉仪的成像系统倍率高精度测量方法。通过分析双点光源间距、CCD相机空间位置与点衍射干涉场相位Zernike多项式系数之间的定量关系,得到物...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712007

 基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

诸波尔 李思坤 王向朝 戴凤钊 唐锋 段立峰

[摘要]提出了一种基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术。通过采用一元线性采样方式,在不同偏振照明条件下采集浸没式光刻机投影物镜的空间像进行主成分分析,在快速建模的同时实现高阶波像差的高精...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(07):0712004

 子孔径拼接干涉的快速调整及测量

郭福东 唐 锋 卢云君 王向朝

[摘要]考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求, 提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法。分析了干涉条纹数量对拼接误差的影响, 分析显示: 当子孔径干涉条纹数量少于5条时, 干涉仪回程误差小于λ/50(PV值)。...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(10):2682

 高精度平面子孔径拼接算法研究

朱鹏辉 唐 锋 卢云君 王向朝 郭福东 李 永

[摘要]对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明,参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度,提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(11):1104002

 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术

方伟 唐锋 王向朝 朱鹏辉 李杰 孟泽江 张恒

[摘要]Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测,并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(10):1012002

 超精密干涉测量仪器与系统

唐锋

[摘要]干涉测量技术以光的波长为度量单位,具有高精度、高灵敏度、和非接触的特点。特别是20世纪70年代以来,干涉测量技术与现代激光技术、电子技术和计算机技术相结合,极大地提高了测量精度和重复性。干涉测量已成为实现...

 PDF全文光电产品与资讯 | 2015, 6(09):39

 一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法

李永 唐锋 卢云君 王向朝 郭福东 李杰 吴飞斌

[摘要]干涉仪参考镜面形离焦误差难以精确标定,是导致拼接累积效应、制约平面子孔径拼接系统检测精度的主要因素。推导了参考镜离焦与拼接累积误差、拼接次数间的定量表达式,基于该表达式在拼接过程中标定并去除参考镜离焦...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708006

 Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究

吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李思坤

[摘要]Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性,具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点,适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测。基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统,根据光栅衍射和空间相...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(03):0308008

 Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析

吴飞斌 唐锋 王向朝 李杰 李永

[摘要]在分析Ronchi 相移剪切干涉仪典型系统参数的基础上,系统研究了该干涉仪相位提取精度的主要影响因素。结合传统的五步相移算法,采用所提出的八步与十步相移算法,对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0612004

 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

李杰 唐锋 王向朝 戴凤钊 冯鹏

[摘要]在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(05):0508006

 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析

张敏 唐锋 王向朝 戴凤钊

[摘要]基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相移干涉相位测量结果进行比对,对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(03):0308002

 平面面形绝对检验技术测量误差分析

徐洋 唐锋 王向朝 徐静浩 范李立 程欣

[摘要]绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(10):1008009

 减小正弦相位调制菲佐干涉仪多光束干涉影响的方法

李中梁 王向朝 刘英明 唐锋

[摘要]在利用正弦相位调制菲佐干涉仪进行测量时, 由于菲佐板及待测物体表面对入射光的多次反射而产生多光束干涉, 干涉信号的强度随相位变化不是严格的余弦分布。按照双光束干涉的算法进行相位信息提取, 会引入一定的误差。...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(08):2115-2120

 基于同步移相技术的1/4波片相位延迟量的快速测量

杨坤 曾爱军 王向朝 唐锋 王华

[摘要]提出了一种基于同步移相技术的1/4波片相位延迟量的快速测量方法。由正交光栅、光阑、检偏器组和四象限探测器实现同步移相功能。检偏器组由4个不同方位角的检偏器组成。通过检偏器组的四束光束的光强由四象限探测器同...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(09):673

 基于同步移相技术的1/4波片快轴方位角的实时测量

杨坤 曾爱军 王向朝 王华 唐锋

[摘要]提出了一种基于同步移相技术的1/4波片快轴方位角的实时测量方法。由正交光栅、光阑、检偏器组和四象限探测器实现同步移相功能。检偏器组由4个不同方位角的检偏器组成。通过检偏器组的四束光束的光强由四象限探测器同...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2008, 6(08):568

 一种基于PSD器件的改进型角度测量方法

郑德锋 唐锋

[摘要]提出一种基于平行平板干涉仪的改进型角度测量方法。为了实现较大的偏转角度测量,该平行平板干涉仪引入了一位置探测系统。平面反射镜的引入提高了角度测量的分辨率。实验验证了可在近3度的范围内实现被测偏转角度的高...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(07):403

 用于大范围高精度实时位移测量的半导体激光干涉仪

何国田 曾爱军 唐锋 黄炳杰

[摘要]现有的半导体激光干涉仪存在测量精度与测量范围的矛盾。本文提出一种新的实时位移测量半导体激光干涉仪,并分析了干涉仪的测量原理。首先提出一种新的解相算法,它通过两路实时相位探测电路从干涉信号中得到待测量相...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(04):211

 实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体干涉仪

何国田 王向朝 曾爱军 唐锋

[摘要]提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体激光干涉仪。利用实时相位检测电路,从正弦相位调制干涉信号中解出被测量物体表面形貌的相位。在实验中,测量了楔形光学平板的表面形貌,对表面形貌上的60*60个测量点,...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2007, 5(03):164

 一种使用双棱镜的动态小角度测量方法

郑德锋 王向朝 李中梁 唐锋 步扬

[摘要]提出一种基于正切关系和相位调制技术的动态小角度测量方法。使用双棱镜组成干涉测量臂引导两束平行光至分束棱镜处干涉,通过提取携带被测信息的干涉信号的相位实现动态的小角度测量。由于采用位置探测器(PSD)对测量臂...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(09):1255-1259

 基于低速面阵CCD的正弦相位调制干涉测量

何国田 王向朝 唐锋

[摘要]正弦相位调制(SPM)干涉测量技术用于表面形貌测量时, 需要帧速高于300 frame/s的图像传感器, 同时要求调制信号频率与图像传感器帧速成确定的整数倍关系。提出一种基于低速CCD(30 frame/s)的帧速可调的高速图像传感技术...

 PDF全文中国激光 | 2007, 34(02):265-271

 信噪比对偏振耦合测试影响分析

唐锋 井文才 张以谟 周革 李海峰 满小明 贾大功

[摘要]以白光麦克尔逊干涉仪对双折射保偏光纤的偏振耦合进行测试,并基于仪器结构建立了测试扫描结果的数学模型.分析及仿真了信噪比对耦合强度及耦合位置检测的影响大小及变化趋势.信噪比大于32 dB,可满足偏振耦合测试的要求...

 PDF全文光子学报 | 2003, 32(09):1056-1058

 白光干涉法偏振耦合测试及数据采样分析

唐锋 井文才 张以谟 周革 李海峰 满小明 贾大功

[摘要]基于白光干涉原理,通过麦克尔逊干涉仪的光程补偿作用,检测保偏光纤空间分布寄生偏振耦合强度和耦合点位置.经数据采样时域理论分析知:扫描步长增大时,耦合强度检测误差和耦合点位置判断误差呈线性增大.扫描步长小于50...

 PDF全文光电工程 | 2003, 30(05):28-30

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