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 离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术

武中华 袁吕军 朱永田 何丽 康燕 苏志德 孔维斌

[摘要]基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术, 通过对付科检测过程的数学分析, 建立了离轴非球面波面再现的数学模型, 提出了波面整合算法, 通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0322002

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