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 利用刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管

李浩 林春 周松敏 王溪 孙权志

[摘要]碲镉汞雪崩光电二极管是第三代红外焦平面探测器的主要发展方向之一.提出一种利用离子束刻蚀工艺制备碲镉汞雪崩光电二极管器件的方法, 并研究了截止波长、耗尽区厚度与器件增益的关系.利用此方法制备截止波长4.8 μm的...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(02):223

 50 mm×50 mm高性能HgCdTe液相外延材料的批生产技术

孙权志 孙瑞赟 魏彦锋 孙士文 周昌鹤 徐超 虞慧娴 杨建荣

[摘要]采用富碲垂直液相外延技术实现了50 mm×50 mm×3高性能碲镉汞外延材料的制备.外延工艺的样品架采用了三角柱体结构, 并设计了防衬底背面粘液的样品夹具.为保证大面积材料的均匀性, 工艺中加强了对母液温度均匀...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(01):49

 HgCdTe薄膜材料组分分布对器件响应光谱的影响

崔宝双 魏彦锋 孙权志 杨建荣

[摘要]研究了HgCdTe液相外延薄膜的纵向组分分布对探测器响应光谱的影响.提出了一种计算HgCdTe红外探测器响应光谱的模型,模型中综合考虑了薄膜的实际组分分布以及光在器件各层结构中的相干、非相干传输.计算结果表明,在探...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2013, 32(03):225-230

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