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 高Q值表面等离子体传感器研究

孙青云 朱亦鸣 陈麟

[摘要]设计了高Q值表面等离子体传感器,传感器芯片的基底为200 μm厚的石英材料,上层为复合结构金属层。为保证高效传输,它的等离子体波导由共面波导结构(coplanar waveguide,CPW)过渡引出,经由表面等离子体传输线传输至谐振...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(06):51

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