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 MOCVD制备不同衬底GaN外延的在线红外测温比较研究

杨超普 宋亚峰 方文卿 刘明宝 李 春 张美丽

[摘要]根据红外测温原理、薄膜等厚干涉模型及相关光学参数,在Al2O3、SiC、Si三种衬底上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术制备10 μm GaN外延层的过程中,对940 nm单色测温、1550 nm单色测温、940 nm/1550 nm比色测温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):111201

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