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   将选定结果: 

 浸没式光刻机对焦控制技术研究

段晨 宗明成 范伟 孟璐璐

[摘要]随着大规模集成电路芯片制造步入十几纳米技术节点时代,光刻机的对焦控制变得越来越困难,其精度需要达到几十纳米。基于实际的光刻机对焦控制系统架构和光刻对焦原理,开展了浸没光刻对焦控制统计分析方法研究。根据...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(09):0912002

 一种对称式双光栅干涉位移测量系统的研制

高金磊 宗明成

[摘要]作为纳米位移测量技术领域的关键解决方案之一,干涉型光栅位移测量系统具有高精度、高分辨率、小体积的特点。干涉型光栅位移测量系统中采用的干涉光来自光栅的衍射,所以系统对光栅的偏摆角度较为敏感,装调难度大。...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(09):0904003

 纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性

孙裕文 李世光 叶甜春 宗明成

[摘要]随着半导体制造步入1x nm技术节点时代,光刻机中的对焦控制精度需要达到几十纳米。在纳米精度范围内,硅片上的集成电路(IC)工艺显著影响调焦调平系统的测量精度。基于实际的调焦调平光学系统模型和三角法、叠栅条纹...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0812001

 基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术

孙裕文 李世光 宗明成

[摘要]随着半导体制造步入1x nm技术节点时代,调焦调平系统的测量精度达到几十纳米。在纳米尺度范围内,集成电路(IC)工艺对调焦调平测量精度的影响很大。提出一种基于光学三角法和叠栅条纹法的调焦调平测量技术,利用空间...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0512002

 NO分子里德伯态Η′2Π-的荧光跃迁通道的研究

宗明成 张培林 赵朔嫣

[摘要]本文采用双光子激发的方法对NO分子的里德伯态H~(′2)П~-进行了研究。测量了它的荧光发射谱,搞清了它的主要跃迁通道。

 PDF全文中国激光 | 1992, 19(12):906-910

 双光子激发NO分子里德伯态H'2-的光谱研究

宗明成 张培林 赵朔嫣 马玉蓉

[摘要]本文采用激光双光子激发的方法对NO分子的里德伯态H'2Ⅱ-(v=1,2)进行了研究,得到了该能级的光谱常数;观测到了H12Ⅱ-与非里德伯态B2Ⅱ之间的相互作用现象,并计算出了相应的转动能级位移;研究了H12Ⅱ-能级的主要荧光...

 PDF全文光学学报 | 1991, 11(03):250-259

 激光喇曼光谱法诊断火焰

宗明成 杨正名 罗宗南 傅世平

[摘要]本文介绍了激光喇曼光谱法诊断火焰的基本原理和实验方法。运用该方法可以测得火焰的温度和物质浓度的三维空间场分布。实验结果与实际情况相符合。

 PDF全文中国激光 | 1986, 13(08):485-488

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