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   将选定结果: 

 叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究

舒 适 齐永莲 徐传祥 张 锋 崔承镇

[摘要]本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题, 即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等, 并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿...

 PDF全文液晶与显示 | 2017, 32(12):956

 相移掩膜应用于显示技术光刻细线化的初步研究

黎午升 惠官宝 崔承镇 史大为 郭建 张家祥 薛建设

[摘要]对基于不改造应用于显示技术的曝光设备而提高光刻解像力进行研究。用半导体工艺模拟及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时, 两种相位移掩膜和传统掩膜下4 μm/2 μm等间隔线的光强分布。并根据设备参数模拟分析离焦量...

 PDF全文光电子技术 | 2014, 34(04):234

 在镜像投影曝光机上使用相移掩膜提高解像力的初步研究

黎午升 惠官宝 崔承镇 史大为 郭建 孙双 薛建设

[摘要]实现高PPI(单位面积像素个数), 需要更细的线宽和更窄的间距, 这往往受到光刻设备解像力的限制, 本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究。用半导体工艺模拟以及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时...

 PDF全文液晶与显示 | 2014, 29(04):544-547

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