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 极紫外光刻掩模相位型缺陷的形貌重建方法

成维 李思坤 王向朝 张子南

[摘要]提出了一种极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷的形貌重建方法。采用表面与底部形貌参数表征相位型缺陷的三维形貌;采用原子力显微镜测量缺陷表面形貌参数;采用傅里叶叠层成像技术重建含缺陷的空白掩模空间像复振幅;采用卷...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(10):1005001

 等离子体平板背光源单元放电特性的研究

张子南 李青 刘杰

[摘要]采用粒子网格-蒙特卡罗碰撞(PIC-MCC)方法对等离子体平板背光源单元的放电过程进行了数值模拟,获得了放电过程中各带电粒子在空间区域的分布以及各区域的形成和性质,并结合模拟结果,详细分析了等离子体平板背光源单元的...

 PDF全文光电子技术 | 2010, 30(01):16-21

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