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 K-B镜面形高精度检测技术研究进展

张帅 侯溪

[摘要]以新一代同步辐射光源和全相干X射线自由电子激光为代表的先进光源已成为众多学科领域中一种不可或缺的研究工具。先进光源技术不断进步,驱动超精密光学制造快速发展,先进光源中关键聚焦光学元件K-B镜的面形精度是影...

 PDF全文中国光学 | 2020, 13(04):660-675

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