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利用光波导进行准分子激光打孔的加工系统研究
郭商勇 陈涛 刘世炳 钱晓峰 张帅
[摘要]分析了现有准分子激光打孔系统的优缺点,研究了对经过光波导的光束进行掩模打孔的一套加工系统.对光波导的制作进行了分析,并进行了一系列实验,文中给出了试验结果和分析.
PDF全文激光杂志 | 2006, 27(03):69-70
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