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 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析

董世则 郭 抗 李显凌 陈华男 张德福

[摘要]设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构, 使光学元件在具备较高调节精度的同时, 保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度, 以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数, 对狭缝柔性结构尺...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(06):790

 基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解

赵 磊 梁 超 张德福 东立剑 彭海峰

[摘要]针对光刻投影物镜中光学元件X/Y/θ微动调整的工程需求,研制了一种基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构,并对其位姿正解进行了研究。建立了3-RRR柔顺并联机构的伪刚体模型,并采用矢量代数法理论推导了该机构的...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(06):1373

 电容传感器线性度标定平台

张德福 葛 川 李显凌 倪明阳 郭 抗

[摘要]设计了一种电容位移传感器在线标定平台, 用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴, 故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能, 保证了...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(01):143

 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析

东立剑 赵磊 张德福 于新峰 倪明阳 李显凌

[摘要]为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5 像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(07):072203

 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计

张德福 李显凌 东立剑 孙振

[摘要]为了找出耦合误差产生的根源, 探讨了柔性偏心机构设计方法.首先, 给出了机构组成和工作原理;然后, 基于柔度矩阵法对机构建模, 分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度;最后, 综合得到机构的整体柔度...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(09):0922001

 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定

葛川 张德福 李朋志 郭抗 李佩玥 杨怀江

[摘要]由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(09):2546

 光刻物镜压力双膜片轴向调节机构优化设计

孙振 张德福 华洋洋

[摘要]针对光刻物镜对镜片间隔调节精度高、范围大的需求,提出一种利用气体压差提供驱动力的压力双膜片轴向调节机构。并对该轴向调节机构的不同膜片宽度、厚度以及凸台宽度进行优化分析,在特定压力范围内得到调节机构的优...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(s1):s116001

 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响

张德福 李显凌

[摘要]针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0716004

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