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 基于像散的光学元件厚度非接触测量研究

李潇潇 张志恒 张效宇 曹杰君 曹兆楼

[摘要]为了解决光学工厂低成本高精度检测光学元件厚度的实际问题, 采用像散法厚度测量技术搭建了测量系统, 并进行了理论分析和实验验证。该系统通过柱面镜引入像散形成长宽比与厚度相关的椭圆光斑, 基于实时图像处理获得元...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(06):741

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