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 基于正解过程的Risley棱镜光束指向控制精度分析

张鲁薇 王卫兵 王锐 王挺峰 郭劲

[摘要]为了获得Risley棱镜系统光束指向控制精度指标设计及性能提升的依据,对系统光束指向控制精度随轴系角度测量精度的非线性变化规律进行了研究。首先,以一级近轴近似矢量合成模型为基础,采用正解方法根据双棱镜方位推...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(04):507

 强激光系统光束质量的非线性退化及补偿研究

张鲁薇 李晓彤 岑兆丰 阮望超 罗红妹

[摘要]为了在强激光非线性传输仿真中综合考虑系统像差等因素,提出了一种基于光线追迹的非线性介质光追方法,并编程实现了线性介质与非线性介质的混合建模。以三片式聚焦系统为例,在系统中加入KDP晶体作为非线性介质,仿真...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(02):0214005

 实际高数值孔径光刻系统的偏振分析

罗红妹 岑兆丰 李晓彤 张鲁薇 张跃骞

[摘要]在光学系统偏振传输理论的基础上,对一高数值孔径(NA)的透射式光刻系统进行了偏振分析,分析中考虑了系统的实际特性现有工艺水平可制备的增透膜、薄膜和基底材料的吸收作用以及偏振照明,以增加分析结果的可靠性。...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(11):1122002

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