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 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

邵景珍 王 玺 胡红涛 方晓东

[摘要]基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061401

 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统

尹广玥 游利兵 王庆胜 褚状状 陈亮 方晓东

[摘要]设计了一套用于准分子激光低温多晶硅制备的线光束整形系统。系统中设置的光斑转换模块可使原始光束截面横纵倒置; 利用扩束模块对原始光束的短轴进行准直, 其扩束倍率可限定短轴光束尺寸, 以配合短轴光束均匀模块的孔...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0906002

 准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究

朱能伟 方晓东 梁 勖 赵读亮

[摘要]为了获得准分子激光器高脉冲能量输出, 采用张氏面型电极的理论, 设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极。通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布, 并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(05):680

 紫外激光诱导击穿光谱的应用与发展

陈 亮 游利兵 王庆胜 尹广玥 褚状状 方晓东

[摘要]激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种基于原子发射光谱的元素分析技术, 是元素分析领域重要的研究手段。作为LIBS分析的激发光源, 紫外激光具有光子能量大、空间分辨率高等优点, 可以提高烧蚀效率、减少分馏效应, 在地质...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(05):619

 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制

赵读亮 梁 勖 方晓东

[摘要]为了抑制电激励准分子激光系统产生的强电磁干扰, 采用电磁辐射理论分析了准分子激光器电磁辐射机理, 确定了激光器辐射干扰源主要来源于激光器的主放电回路、出光口和氢闸流管; 采用近场探头分别对各关键部位不同距离...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(04):484

 放电准分子激光电磁干扰环境下控制系统设计

马英岚 梁 勖 赵读亮 方晓东

[摘要]为了在放电激励准分子激光的电磁干扰环境下, 实现有效的抗干扰控制系统设计, 采用全光纤接口设计和基于电压频率转换实现的高精度模拟信号传输的方法, 取得了放电准分子激光空间电磁干扰强度和压频转换波形等数据, 进...

 PDF全文激光技术 | 2017, 41(02):210

 KrF激光和脉冲CO2激光损伤K9玻璃的实验对比与分析

王玺 方晓东

[摘要]对KrF准分子激光辐照K9玻璃进行了损伤实验, 并与脉冲CO2激光损伤K9玻璃进行了对比分析, 研究了紫外和远红外两种激光系统对同种光学材料的损伤特性。实验结果结果表明, KrF准分子激光和脉冲CO2激光对K9玻璃的损伤形貌...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(12):1206009

 用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究

张 威 梁 勖 陶汝华 方晓东

[摘要]248 nm的KrF准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(01):0105001

 基于FLUENT的准分子激光器气体流场数值仿真

朱能伟 方晓东

[摘要]利用ICEM软件对简化后的准分子激光器气体流道进行二维截面网格划分。基于realizable k-ε湍流模型和多参考系(MRF)模型,利用FLUENT软件对激光器内部气体流动进行稳态流场仿真,获得了气体流动速度大小和分布。仿真结...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(09):0901007

 一种放电引发非链式氟化氘脉冲激光器研究

游利兵 尹广玥 王庆胜 方晓东

[摘要]设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘(DF)脉冲激光器,引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路,形成39.5 kV、100 ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极结合紫外(UV)火花预电离,在电极间距为...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0502003

 用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统

尹广玥 游利兵 方晓东

[摘要]介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(03):383

 烧结时间对羟基磷灰石靶的影响

孙伟 罗乐 赵读亮 严中亚 程光存 方晓东

[摘要]为了研究烧结时间对羟基磷灰石靶的影响,将纯度为99%的羟基磷灰石粉末压制成 圆盘形靶,并在氩气中保持800°C恒温分别烧结12、16、20、24 h。用X射线衍射仪(XRD)和X射线 光电子能谱仪(XPS)检测不同烧结时间的羟基磷...

 PDF全文量子电子学报 | 2016, 33(05):610

 通过优化工作气体分压提高 准分子激光器脉冲能量输出

邱红松 游利兵 王庆胜 方晓东

[摘要]分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响。理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程 中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析。F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr...

 PDF全文量子电子学报 | 2016, 33(03):296

 焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器

王庆胜 游利兵 尹广玥 褚状状 方晓东

[摘要]研制了一台采用紫外火花预电离和横向放电结构的非链式电激励脉冲HF激光装置,采用氢闸流管结合一级磁脉冲压缩开关的高功率电激励系统。实验研究了激光工作介质SF6,H2不同压强比和总工作气压对激光输出能量的影响,得...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(08):28081003

 准分子激光辐照K9玻璃的热力效应分析

王 玺 方晓东

[摘要]基于传热学理论,利用有限元法对KrF准分子激光辐照K9玻璃样品中的热力效应进行了数值分析,并比较了脉冲数目和重频对损伤效果的影响。研究表明,较低的准分子激光能量就能够使K9玻璃在表面和体内产生热应力损伤,热应力损...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(04):041002

 非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究

秦娟娟 邵景珍 刘凤娟 方晓东

[摘要]利用KrF准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对晶化前后的样品的物相结构和表面形貌进行了表征和分析。实验结果表...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(03):0959

 沉积时间对机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜的影响

罗乐 蒋大鹏 赵读亮 严中亚 程光存 方晓东

[摘要]用脉冲激光在机械瓣膜上沉积类金刚石薄膜的实验中, 保持其它实验参数不变, 沉积时间分别取40 min和50 min来沉积类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对机械瓣膜衬底和薄膜的微观结构进行检测; 用原子力显微镜对薄膜的表面形貌...

 PDF全文应用激光 | 2015, 35(02):260

 衬底温度对机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜的影响

罗乐 蒋大鹏 赵读亮 严中亚 程光存 方晓东

[摘要]为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律,在实验中保持其 它实验参数不变,机械瓣膜衬 底温度分别取室温和150°C时,用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对薄膜的 微观结构进行检...

 PDF全文量子电子学报 | 2015, 32(04):498

 衬底对脉冲激光沉积类金刚石薄膜微观结构的影响

罗乐 蒋大鹏 孙伟 严中亚 程光存 方晓东

[摘要]用脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的实验。首先,衬底温度分别取室温、200 ℃、400 ℃和600 ℃在Si衬底上沉积类金刚石薄膜;其次,衬底温度分别取400 ℃和600 ℃在316L医用不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜。用Raman光谱仪...

 PDF全文应用激光 | 2014, 34(06):546

 高温烧结羟基磷灰石靶的细胞相容性

罗乐 赵读亮 蒋大鹏 严中亚 程光存 方晓东

[摘要]为研究高温烧结羟基磷灰石靶的细胞相容性,把纯度为99%的羟基磷灰石粉末压制成圆盘形靶, 在氩气中于800C高温下烧结成型。用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对羟基磷灰石靶的结构组成进行检测。 用四氮唑盐比色法对羟...

 PDF全文量子电子学报 | 2014, 31(03):368-371

 烧结温度对羟基磷灰石靶的影响

罗乐 蒋大鹏 赵读亮 严中亚 程光存 方晓东 陶汝华

[摘要]为研究烧结温度对羟基磷灰石靶的影响规律,把纯度为99%的羟基磷灰石粉末压制成圆盘形的靶后, 在氩气中分别在600C、700C和800C高温下进行烧结。用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对未烧结和 在不同温度下烧结的羟基...

 PDF全文量子电子学报 | 2014, 31(02):222-225

 应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展

秦娟娟 董伟伟 周曙 游利兵 方晓东

[摘要]极紫外光刻是采用波长为13.5 nm的极紫外光作为光源,实现半导体集成电路工艺22 nm以及更 窄线宽节点的主要候选光刻技术。性能优越稳定的多层膜技术是构建整个极紫外光刻系统的重要技术之一。 从高反射率、波长匹配、控...

 PDF全文量子电子学报 | 2014, 31(01):1-11

 用于308 nm准分子激光治疗仪的液芯光纤传输特性研究

高健 方晓东 梁勖 马跃 吴本科

[摘要]实验研究了308 nm准分子激光皮肤治疗仪激光传输系统中光纤的传输特性。 比较了紫外扩展型液芯光纤、集束石英光纤、普通液芯光纤三种不同类型的光纤在不同的激光输出功率、工作 时间等条件下的传输效率,紫外扩展型液芯...

 PDF全文量子电子学报 | 2014, 31(01):94-98

 248 nm高反膜抗激光损伤性能

刘凤娟 周曙 秦娟娟 邵景珍 方晓东

[摘要]用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248 nm的HfO2/SiO2高反膜, 为提高其抗激光损伤能力, 设计并制备了两种保护层, 一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的SiO2保护层, 另一种是用Al2O3/MgF2做保...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(08):081015

 K9玻璃在脉冲CO2激光作用下的热应力分析

王玺 方晓东

[摘要]根据已建立的理论模型,计算得到了K9玻璃受脉冲CO2激光辐照时产生的热应力分布,研究了热应力的时间特征,在分析样品尺寸对损伤结果影响的基础上,提出了K9玻璃抗激光损伤的最佳半径。结果表明:K9玻璃产生的热应力损伤主...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(05):051006

 准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

厉彦超 游利兵 王庆胜 余吟山 方晓东

[摘要]为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电...

 PDF全文激光技术 | 2013, 37(06):803-807

 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

赵家敏 高健 梁勖 王效顺 游利兵 王庆胜 余吟山 方晓东

[摘要]为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求, 设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用LC谐振倍压的方式, 同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电, 倍压比为1.87。通过对电源工作时...

 PDF全文激光技术 | 2013, 37(01):97-100

 大能量高功率准分子激光的应用及关键技术

赵家敏 游利兵 余吟山 方晓东

[摘要]实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理, 介绍了其在液晶平板显示行业、 太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术, 如大面积均匀放电技术...

 PDF全文量子电子学报 | 2013, 30(06):696-702

 kHz准分子激光器全固态脉冲激励源

王庆胜 游利兵 余吟山 赵家敏 方晓东

[摘要]由于寿命制约, 准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块, 使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(04):885-559

 0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性

赵家敏 游利兵 余吟山 方晓东

[摘要]研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40 kV、脉冲上升时间约为...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(11):3060-3064

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