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 自集成透镜InGaAsP/InPDHLED及其离子束铣技术

肖德元 郭康瑾 付新定 徐少华 方红丽 张坚萍 陈启玙 陈瑞璋

[摘要]本文报道在国内首次采用离子束铣技术研制自集成透镜InGaAsP/InP DH LED的实验结果。采用烘烤正性光致抗蚀剂来形成球状掩膜适合于离子束铣,且重复性很好。为了获得光洁的刻蚀表面,刻蚀条件均已最优化。

 PDF全文光学学报 | 1991, 11(01):71-77

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