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   将选定结果: 

 ZnO∶W透明导电薄膜的调制生长与表面氢化处理

胡克艳 陈义川 张效华 朱文均 帅伟强 胡跃辉

[摘要]采用射频磁控溅射法,在不同溅射功率下沉积ZnO∶W薄膜层55 min,然后通入体积分数为5%的氢气,并保持溅射参数不变,表面氢化处理8 min,获得了表面具有绒面结构的ZnO∶W透明导电薄膜。对样品的显微形貌、结构和表面绒...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(05):0531001

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