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 基于远场干涉的扫描干涉场曝光光学系统设计与分析

鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣

[摘要]高斯光在远离束腰位置能得到直线度极高的干涉条纹，基于此提出了一种基于远场干涉的新型扫描干涉场曝光(SBIL)系统。建立了条纹相位非线性误差关于高斯光束腰半径、入射角度及束腰到基底距离的解析表达式。通过数值仿...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(06):0605001

 扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测

鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣

[摘要]根据扫描干涉场曝光的特点，针对光刻胶层内曝光量的驻波效应，建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型，得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响，提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(05):0505001

 干涉条纹相位锁定系统分析及其控制

鲁森 杨开明 朱煜 张鸣 王磊杰 胡楚雄

[摘要]干涉条纹的相位变化与干涉条纹中某一固定点的光强密切相关, 基于这一原理, 通过对干涉场光强分析, 提出并设计了一种用于干涉条纹相位锁定的控制系统.光电探测器检测干涉条纹中固定目标点的光强, 并以该光强电压作为反...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(01):0123001

 用于扫描干涉场曝光的超精密微动台设计与控制

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣 杨 进

[摘要]扫描干涉场曝光（SBIL）系统中曝光效果与工件台的运动性能密切相关。为了制作纳米精度的大面积平面光栅, 工件台采用了粗微叠层结构设计, 其中微动台是实现工件台运动精度的关键。基于SBIL原理, 推导了干涉条纹周期测...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(10):1012006

 零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制

王磊杰 张 鸣 鲁 森 朱 煜 杨开明

[摘要]利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时, 常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先, 介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(05):1213

 采用相位调制方法的光纤干涉仪

倪畅 张鸣 朱煜

[摘要]为了实现小巧紧凑且使用灵活的大量程位移测量, 提出了一种采用相位调制方法的光纤干涉仪。首先, 介绍相位调制方法, 分析内调制与外调制的特点, 指出由于内调制的局限性, 外调制更适于较大量程的位移测量。然后, 用数...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(04):820

 超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统

王磊杰 张 鸣 朱 煜 鲁 森 杨开明

[摘要]开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究，以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度，提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理，设...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(12):2975

 干涉条纹相位锁定系统

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣

[摘要]干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低, 为了有效抑制相位漂移, 利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点, 指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(01):1

 基于FPGA的BiSS-C协议编码器接口技术研究及解码实现

王希远 成荣 朱煜 孙贤

[摘要]为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求，本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法，并针对该方法进行了电路设计以及实验验证。首先，研究了BiSS-C协议内容，就其组网方式和帧格式做了详细的介绍。...

 PDF全文液晶与显示 | 2016, 31(04):386

 双频激光干涉测量中的环境补偿技术

池峰 朱煜 张志平 高为宫

[摘要]作为一种超精密的非接触式测量设备，双频激光干涉测量系统可以在保证纳米级测量精度的情况下实现大范围和高速度测量，因而获得非常广泛的用途。环境是影响激光干涉测量系统测量精度的最大因素，为了获得纳米测量精度...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(04):0408004

 分波段式中阶梯光栅原子发射光谱仪

朱文煜 陈少杰 撖芃芃 崔继承 曹海霞 巴音贺希格 齐向东 唐玉国

[摘要]受探测器发展水平的限制, 以中阶梯光栅光谱仪为分光模块的ICP-AES电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-AES)难以实现宽波段内多元素的同时测量。本文对现有中阶梯光栅光谱仪进行了改进, 设计出一种适用于ICP-AES多元素...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(04):870-876

 应用飞秒激光双光子吸收还原金属离子

马竞 朱煜 杨开明

[摘要]为了探讨利用有机高分子材料的飞秒激光双光子吸收来引发金属离子还原的可行性，在自行研制的双光子微细加工系统中，采用物质的量的比为1∶1的硝酸银/聚乙烯吡咯烷酮混和凝胶进行还原试验，加工出宽25μm的线条以及4m...

 PDF全文激光技术 | 2010, 34(03):395-397

 基于图像跟踪的孔洞目标提取与区域定位研究

朱煜 江林佳

[摘要]针对纤维材料图像分割后提取的目标图像孔洞之间粘连明显、不封闭、分布不均匀和大小不一等特点,采用常规链码与带方向链码两种跟踪手段,运用链码差实现了对边缘的方向性表示.通过结合三点圆拟合算法,对目标孔洞边缘进...

 PDF全文光子学报 | 2008, 37(02):391-394

 在线检测中改善对入射光强敏感性方法的研究

朱煜 陆宗骐 宋培华等

[摘要]

 PDF全文光子学报 | 2002, 31(04):497

 数字X射线图象的面不同一性校正研究

赵瑾 朱煜 梁诚 高敦岳

[摘要]分析了数字X射线图象中面不同一性产生的原因,并从原理发出,采用曲面拟合的背景校正方法进行校正.实验表明该方法可以有效消除随机噪音对背景校正的影响,更好地提取出背景的不同一性特征信息,具有良好的校正效果.

 PDF全文光子学报 | 2002, 31(10):1244-1247

 由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定

朱煜 陈进榜 朱日宏 高志山

[摘要]根据傅里叶变换原理,提出了一种对由三个压电陶瓷堆(PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。在对各个压电陶瓷堆进行非线性校正的基础上,利用干涉图像自动分析系统,综合分析各个压电陶瓷堆之间的...

 PDF全文光学学报 | 2001, 21(04):468-471

 半导体光电探测器响应度测试装置的研制

刘 晖 朱日宏 朱 煜 陈进榜

[摘要]分析了半导体光电探测器光谱响应度的测试原理；研制了一套波长为0.4～1.1μm的光谱响应度测试装置。该装置采用双光路替代法,可以测试绝对光谱响应度、相对光谱响应度和量子效率,并可减小光源不稳定性对测试结果的影响...

 PDF全文光学学报 | 1999, 19(11):1581-1584

 高效率连续波单频环形钛宝石激光器

邵中兴 许凤明 叶子青 周天恩 朱文煜

[摘要]报道了氩离子激光泵浦的高教率连续波单频环形钛宝石激光器的设计和运转特性。5.0 W泵浦获得了大于0.5 W的稳定单频输出.单频转换效率为10%.讨论了考虑热效应后最佳泵浦条件及光学选频器件,光学单向器,双折射滤光片等特...

 PDF全文中国激光 | 1997, 24(01):9-12