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 增强短波红外InGaAs探测器透过率的纳米光天线研究

姚鹏飞 李淘 李雪 邵秀梅 龚海梅

[摘要]过去几十年中, 短波红外 InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中, 通过将 InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而, 这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成, 制备成本较...

 PDF全文红外技术 | 2018, 40(09):843

 中心距10 μm截止波长2.6 μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器

何玮 李平 邵秀梅 曹高奇 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 李雪 李淘 龚海梅

[摘要]采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式, 研制了像元中心距为10 μm、截止波长2.6 μm的p-i-n型10 × 10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析, ...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(06):649

 不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析

李 平 李 淘 邓双燕 李 雪 邵秀梅 唐恒敬 龚海梅

[摘要]为了研究延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管的暗电流机制。采用两种不同工艺制备了台面型延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管。第一种工艺(M135L-5)是: 台面刻蚀后进行快速热退火(RTA)。第二种工艺(M135L-3)是:...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0520002

 高性能短波红外 InGaAs焦平面探测器研究进展

邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 唐恒敬 李淘 黄松垒 黄张成

[摘要]中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9~1.7 ?m近红外InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1 等多种线列规格,以及320×256、640×512、4...

 PDF全文红外技术 | 2016, 38(08):629

 中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma 辐照效应

乔辉 李淘 龚海梅 李向阳

[摘要]对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma 辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应: 电离效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):129

 n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺

石 铭 邵秀梅 唐恒敬 李 淘 黄 星 曹高奇 王 瑞 李 平 李 雪 龚海梅

[摘要]采用ICP刻蚀(inductively coupled plasma etching)工艺制备了深台面n-on-p结构的可响应到2.4 μm的延伸波长8×1元线列InGaAs探测器.器件表面采用ICP源激发的N2等离子体进行处理,然后再使用ICPCVD(inductively co...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):47

 短波红外In0.53Ga0.47As探测器的实时γ辐照研究

黄星 李雪 李淘 唐恒敬 邵秀梅 龚海梅

[摘要]空间应用短波红外InGaAs探测器的性能不断提高,对辐照损伤越来越敏感。通过实时测试的方法,研究了不同剂量和不同剂量率的γ辐照对晶格匹配In0.53Ga0..47As探测器电流-电压特性的影响。发现在反向偏压下,辐照在器件...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):901

 InGaAs焦平面探测器电串音性能的研究

李冬雪 王天盟 沈文忠 张月蘅 李雪 李淘

[摘要]串音与焦平面阵列(FPA)的灵敏度和分辨率密切相关.用模拟的方法定量地计算了In0.53Ga0.47As/InP 探测器焦平面阵列的电串音随光波波长、入射方向和台面的刻蚀深度的变化情况.结果显示台面结构的器件的串音抑制性能比平...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0641

 异质结InP/InGaAs探测器欧姆接触温度特性研究

曹高奇 唐恒敬 李淘 邵秀梅 李雪 龚海梅

[摘要]为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10-4Ω·cm2,同时,对欧姆接触的温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0721

 可见增强的32×32元平面型InGaAs/In面阵探测器

杨 波 邵秀梅 唐恒敬 邓洪海 李 雪 魏 鹏 王云姬 李 淘 龚海梅

[摘要]为了实现InGaAs探测器响应波段向可见增强, 在传统的外延材料中加入一层InGaAs腐蚀阻挡层, 制备了32×32元平面型InGaAs面阵探测器, 采用机械抛光和化学湿法腐蚀相结合的方法, 去除了InP衬底.结果表明, 探测器的响...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):286

 平面型大光敏元InGaAs线列探测器及其应用

邵秀梅 李淘 李雪 邓洪海 程吉凤 徐勤飞 肖功海 汪洋 陆华杰

[摘要]采用晶格匹配的平面型InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料,设计了一种大光敏元、带有保护环的InGaAs线列探测器。通过I-V测试、扫描电容显微技术(SCM)测试,研究并确定了线列器件的盲元与保护环结构之间的关系。通过设计改...

 PDF全文光学与光电技术 | 2014, 12(01):75-79

 平面型 24元 InGaAs短波红外探测器

邵秀梅 李淘 邓洪海 程吉凤 陈郁 唐恒敬 李雪

[摘要]设计了带有保护环结构的平面型 24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用 n-i-n+型 InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器。LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果;I-...

 PDF全文红外技术 | 2011, 33(09):501-504

 AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

李永富 唐恒敬 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅

[摘要]为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用, 设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(06):401-405

 InGaAs短波红外探测器的偏振响应特性分析

唐恒敬 李永富 朱耀明 李淘 李雪 龚海梅

[摘要]在偏振成像和激光功率测量技术领域,凡涉及偏振光的定量测量,都会由于光束的偏振态对探测器的影响而产生显著的误差。这种现象主要是由于许多类型的光探测器存在偏振敏感响应引起的。本文对光电探测器的偏振响应进行了...

 PDF全文红外 | 2009, 30(11):7-11

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