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 平面型大光敏元InGaAs线列探测器及其应用

邵秀梅 李淘 李雪 邓洪海 程吉凤 徐勤飞 肖功海 汪洋 陆华杰

[摘要]采用晶格匹配的平面型InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料,设计了一种大光敏元、带有保护环的InGaAs线列探测器。通过I-V测试、扫描电容显微技术(SCM)测试,研究并确定了线列器件的盲元与保护环结构之间的关系。通过设计改...

 PDF全文光学与光电技术 | 2014, 12(01):75-79

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