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 基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工

李以贵 蔡金东 黄远 吕曈 颜平 王欢

[摘要]利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题, 研究了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091403

 基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备

李以贵 颜平 黄远 杉山进

[摘要]微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术, 以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶, 在PMMA基板上制造了微透镜阵列, 并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(06):0620001

 共晶键合与减薄技术的压电能量采集器

李以贵 颜 平 黄 远 杉山进

[摘要]采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块, 构成可以工作于低频环境(小于1 000 Hz)的微压电能量采集器, 一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(06):064112

 不同辐射建模下球腔的整体数值模拟

翟传磊 蓝 可 勇 珩 李双贵 任国利 霍文义 陈耀桦 杨 容 宋 鹏

[摘要]不同辐射建模对于腔内辐射场描述的精确程度不同,需要分析不同建模对腔内辐射温度的影响。开展了三温建模与辐射多群输运建模下LARED集成程序数值模拟两孔球型黑腔模型,实现了球腔的完整数值模拟。数值模拟结果表明,三...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(04):042001

 利用体块PZT制备膜片式压电微泵

李以贵 黄 远 颜 平 王 欢 杉山进

[摘要]利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应, 设计并制备了膜片式压电微泵。 通过将电能转换为机械能, 实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成; 微驱动器主要为液体流动提供驱动力, 单向微阀则用于精确控制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1072

 激光间接驱动惯性约束聚变二维总体程序--LARED集成程序

宋鹏 翟传磊 李双贵 勇珩 齐进 杭旭登 杨容 成娟 曾清红 胡晓燕 王帅 施意 郑无敌 古培俊 邹士阳 李欣 赵益清 张桦森 张爱清 安恒斌 李敬宏 裴文兵 朱少平

[摘要]介绍了辐射流体力学程序LARED集成程序的物理背景、模型方程、数值方法和数值算例。该程序主要应用于激光间接驱动惯性约束聚变的二维整体模拟, 兼顾激光直接驱动、辐射驱动靶丸内爆过程和流体不稳定性等物理过程的数值...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(03):032007

 基于同步辐射光刻工艺和电铸工艺的金属纳米光栅模具制备

李以贵 杉山进

[摘要]随着微电子技术的发展,有必要研究在基板上制备高深宽比并拥有垂直侧壁的微纳结构。基于X射线可以制备高质量的纳米母光栅,利用精密纳米电铸技术从母光栅中复制出高质量的微纳金属光栅模具。研究了一种高深宽比的金属...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(11):1106002

 激光腔靶耦合二维辐射输运数值模拟

李双贵 翟传磊 杭旭登 勇珩 赵益清 李欣 李敬宏 郑无敌 古培俊

[摘要]间接驱动激光聚变过程中, 黑腔内物质处于非局域热动平衡(non-LTE)状态, 而且辐射传输具有非平衡、各向异性等特点。为了精确描述黑腔辐射场的演化及其与物质的相互作用, 最新研制的激光聚变二维总体LARED集成程序, 基...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(08):082002

 靶丸变形实验的多群扩散整体数值模拟

翟传磊 李双贵 勇珩 古培俊

[摘要]神光Ⅱ装置上靶丸压缩实验中, 黑腔长度的变化会影响靶丸赤道和两极受到的辐照强度, 从而导致燃料区被压缩成不同的形状。介绍了辐射多群扩散建模下的辐射流体力学方程组及其数值方法。采用最近研制的二维总体LARED集成...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(05):1157-1160

 偏振导航传感器标定系统的设计与实现

李成贵 孙燕峰 魏鹏

[摘要]依据天空中自然光的偏振规律,设计了在实验室环境下测试并验证偏振导航传感器性能的标定系统方案,进行了实物系统的搭建,利用VC++ 6.0平台开发了该标定系统的积分球控制、高精度旋转台控制程序。经实验测试,该标定...

 PDF全文电光与控制 | 2013, 20(12):60-62

 结合区域生长和SUSAN的图像分割方法

邓金莲 李成贵

[摘要]针对区域生长算法对噪声敏感问题,提出了一种结合区域生长算法和SUSAN算子进行图像分割的方法。在基于区域平均灰度差的图像分割算法的基础上,运用SUSAN算子作为区域生长的终止准则。试验表明,该方法对噪声不敏感,...

 PDF全文电光与控制 | 2012, 19(08):38-40

 CdTe量子点-罗丹明B荧光共振能量转移猝灭法测定金银花中的微量铜

王晓梅 叶超 李臣贵 胡育筑

[摘要]研究CdTe量子点(供体)和罗丹明B(受体)之间荧光共振能量转移的最佳条件, 建立了荧光共振能量转移猝灭法测定金银花中微量铜的新方法。 采用十六烷基三甲基溴化铵, 在pH 6.00的Tris-HCl缓冲液中, Cu2+能对能量转移体...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2011, 31(02):448-451

 高精度双轴太阳跟踪控制器设计

周培涛 李成贵 刘绍宗 姚刚

[摘要]结合聚光式光伏发电对太阳跟踪装置的应用需求,设计了基于DSP与CPLD的高精度双轴太阳跟踪控制器。设计以太阳位置计算的方法为主要跟踪控制方式,采用CCD传感器对太阳跟踪角度偏差检测自动定位和校准。结合光电定位校...

 PDF全文电光与控制 | 2011, 18(04):81-84

 用同步辐射光刻直接在有机玻璃板上制备高深宽比亚微米光栅

李以贵 杉山进

[摘要]为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(05):1451-1454

 应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿

陈少军 李以贵 杉山进

[摘要]提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(02):420-425

 飞行参数实时采集系统的设计与实现

刘鑫 李成贵 孟召宗

[摘要]为了准确获取实时的飞行参数,提出了一种以FPGA为核心的多路数据采集系统设计。描述了系统硬件设计,通过VerilogHDL语言设计有限状态机完成流水采样以及FPGA与DSP数据通信,并用Modelsim对各设计模块进行仿真。实验证明...

 PDF全文电光与控制 | 2010, 17(04):53-56

 一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究

龚勇清 刘智怀 高益庆 罗宁宁 李平贵

[摘要]提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,该方法利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性。首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、达曼光栅、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩...

 PDF全文应用光学 | 2009, 30(02):304-308

 全罗盘画面中的刻度线反走样技术

姜丹丹 李成贵

[摘要]随着计算机及图形学技术的发展,座舱仪表对图形显示的质量提出了更高的要求。由于硬件系统采用的是光栅图形显示系统,罗盘画面旋转受光栅扫描显示器的限制存在着锯齿形失真、扭曲等走样现象。针对这个问题,通过分析走样...

 PDF全文液晶与显示 | 2009, 24(01):130-134

 利用声表面波实现液体的二维驱动

高阳 李以贵 张俊峰

[摘要]报道了利用声表面波实现水滴二维驱动的实验。在127.8° Y切X向传播的铌酸锂衬底上制作了4个叉指换能器。每个叉指换能器由10对电极构成,其叉指周期为400 μm,宽度为100 μm,孔径为12 mm,整个器件的尺寸为26 mm...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(07):1548-1552

 浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造

张俊峰 李以贵 惠春

[摘要]考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在LiNbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器.为了更加有效地控制驱动方向,提出了...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(06):1300-1305

 基于同步辐射光刻的三维微细加工方法

李以贵 洞出光洋 杉山进

[摘要]同步辐射光刻的三维聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethyl Methacrylate,PMMA)微结构制造对X射线光刻掩膜板的吸收体形状和PMMA所吸收的X射线能量分布有直接影响,即三维PMMA微结构形状取决于X射线光刻掩膜板的吸收体形状。如...

 PDF全文光学与光电技术 | 2008, 6(01):0082-84

 基于HHT的微晶玻璃超光滑表面抛光

杨志甫 杨辉 李成贵 刘档 房建国

[摘要]针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术,介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法-定偏心浸液式抛光.分析了微晶玻璃的性能和微观结构,得出实现其超光滑表面加工所必须的技术条件.系统论述了提出的超光滑表面抛...

 PDF全文光学 精密工程 | 2008, 16(01):35-41

 一种新的数字散斑振动定量分析系统

贾书海 李以贵 谭玉山

[摘要]在数字散斑干涉(DSPI)测量方法中,数字散斑时间平均法测量振动时得到的是贝塞尔条纹,其定量分析比较困难。该文采用贝塞尔条纹准相移技术进行数字散斑振动定量分析,即在参考光路中引入和物体同频率的偏置参考振动,...

 PDF全文应用光学 | 2007, 28(01):0092-96

 一种基于波动方程的新高阶FDTD方法

王烁 邵振海 文光俊 李世贵 谢康

[摘要]提出了一种基于二阶波动方程的(2M,4)高阶时域有限差分(FDTD)方法,通过使用辛积分传播子(SIP)在时域上获得4阶精度,使用离散奇异卷积(DSC)方法在空域上达到2M阶精度.与已有的(2M,4) 阶FDTD方法相比,虽然两者都采用SIP和...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2007, 19(12):2069-2073

 基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器

宋康 李以贵 陈水良

[摘要]设计了一种新工艺――利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具,再利用硅模具复制得到微谐振腔。组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀(deep-RIE)再结合EPW湿...

 PDF全文中国激光 | 2004, 31(06):659-661

 自由电子激光辐照半导体多量子阱的研究

邹睿 林理彬 张猛 张国庆 李永贵

[摘要]利用低温光荧光谱研究了自由电子激光辐照对GaAs/AlGaAs多量子阱光学性质的影响.用波长为8.92 μm,光功率密度相应于电场强度为20 kV/cm的自由电子激光辐照多量子阱60 min,发现量子阱特征峰797 nm经过辐照后峰值发生红...

 PDF全文中国激光 | 2003, 30(09):852-854

 自由电子激光对GaAs/AlGaAs异质结构材料电学性质的影响

张猛 林理彬 邹睿 张国庆 李永贵

[摘要]自由电子激光(FEL)辐照样品前和辐照样品时,使用变温霍尔测量系统测试了这种n型调制掺杂GaAs/AlGaAs异质结构材料中准二维电子气(2DEG)的迁移率、电子浓度和电阻率.对比这两种情况下的结果可以发现:1) 迁移率随温度升高...

 PDF全文中国激光 | 2003, 30(07):593-596

 硅各向异性腐蚀的微小谐振器的研制

李以贵 贾书海 陈迪 杨春生

[摘要]研究了一种利用硅微结构直接作为模具制作微小固体染料激光器谐振腔.它采用了硅的深层反应离子刻蚀技术(deep-RIE)并结合硅的各向异性腐蚀技术(EPW),由于EPW 对〈110〉面有仅次于〈111〉面的腐蚀速率,可制造出具有光学...

 PDF全文激光技术 | 2003, 27(03):211-213

 一种SASE-FEL用摇摆器机制探讨

刘圣广 李永贵

[摘要]利用带电粒子在均匀等离子体中传播时,在其后激发的尾波场作为自发辐射自放大自由电子激光(SASE-FEL)的摇摆器,称为尾波摇摆器.分析了此摇摆器的工作机制及其相应的周期、场强度,根据SASE-FEL理论计算了其增益长度Lg,并...

 PDF全文激光技术 | 2003, 27(02):88-89

 基于微机电系统技术的投影型微光学编码器

李以贵 远藤哲生 羽根一博

[摘要]对投影型微光学编码器的原理进行了分析,结合微机电系统集成技术,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术将标尺光栅、指示光栅、光电二极管集成化构成投影型光栅微编码器。它具有体积小、光路调...

 PDF全文光学学报 | 2003, 23(08):1005-1007

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