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 软X射线荧光吸收谱测试方法的建立与应用

陈振华 李俊琴 赵子龙 桑卓成 邹鹰 王勇 邰仁忠

[摘要]提出一种基于主成分分析法的装调方案;对理想的离轴三反系统的灵敏度矩阵进行处理,以获得系统失调量对残余像差敏感度的权重值,通过去除敏感度低的调整量来制定合理的装调方案;基于逆向优化法的计算机辅助装调技术原理...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(03):0330002

 基于荧光发射的低原子序数软X射线吸收谱方法

李俊琴 陈振华 赵子龙 邹鹰 王勇 邰仁忠

[摘要]利用上海同步辐射光源扫描显微光束线站(08U1A)搭建了一套基于荧光发射的低原子序数吸收谱的测量系统,探索部分荧光产额(PFY)的吸收谱方法在软凝聚态(低原子序数元素,原子序数Z<10)和半导体领域的可行性及适用性。以...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(10):1034002

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