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 HgCdTe柔性中波红外探测器放大电路设计及噪声分析

陈鸣 余晨辉 许金通 李向阳

[摘要]设计了一种应用于 HgCdTe柔性中波红外探测器的微弱信号放大电路,该电路由电桥电路、调零电路及滤波电路组成。采用平衡电桥与仪表运算放大器 INA333相结合的方式搭建电桥电路;并针对探测器直流分量过大问题,设计了...

 PDF全文红外技术 | 2019, 41(07):661

 盖革模式雪崩光电二极管的主动淬灭电路研究

张惠鹰 许金通 李向阳

[摘要]紫外光通信作为新型通信方式,在短距离通信领域具有潜在的应用前景。紫外光通信的探测电路可分为线性模式和盖革模式,盖革模式探测电路在系统带宽和探测灵敏度等方面具有显著优点。本文研究了基于盖革模式雪崩光电二...

 PDF全文红外技术 | 2019, 41(05):418

 基于盖革模式雪崩光电二极管紫外计数系统

尹 文 许金通 张惠鹰 李向阳

[摘要]针对工作在盖革模式下的硅基雪崩光电二极管(APD)进行了接收电路的设计, 通过主动淬灭加快恢复的方式, 对APD偏压进行调控, 利用单稳态触发器使淬灭信号和恢复信号独立控制APD阳极的电压, 从而同时控制淬灭时间和恢复时...

 PDF全文半导体光电 | 2019, 40(04):571

 基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟

刘向阳 徐国庆 贾 嘉 孙 艳 李向阳

[摘要]用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型, 模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证, 结果表明...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(03):331

 天宫二号ZnTe:Cu晶体生长及能谱分析

王 仍 陆 液 焦翠灵 乔 辉 李向阳

[摘要]在微重力条件下生长了ZnTe:Cu晶体, 对其进行了光学和能谱分析, 在晶锭尾部最大结晶区对其进行了组分分析.对于尾部的轴向分量, 在空间样品中Cu的成分均匀性优于地面样品, 并且Te/Zn比的样品高于空间样品.尾部空间样品...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(03):281

 基于硅雪崩光电二极管的紫外盖革模式电路的研制

邢怀昌 许金通 李向阳

[摘要]本文旨在研制盖革模式电路并在两种紫外光照射下测试电路性能,为紫外通信提供数据参考。研制了适用于硅雪崩光电二极管( APD)的主动、被动两种盖革模式电路,设计并实现了输出可调至300.0 V的高稳定直流高压偏置电源...

 PDF全文红外技术 | 2018, 40(10):966

 紫外焦平面探测器读出电路抗辐照加固设计

马丁 乔辉 刘福浩 张燕 李向阳

[摘要]分析了MOS器件的辐照特性及辐照失效机理。基于Global Foundries 0.35μm CMOS工艺, 设计了一款320×256抗辐照加固紫外焦平面读出电路。该电路数字部分MOS管采用环形栅和双环保护进行加固, 并在读出电路表面交替生...

 PDF全文半导体光电 | 2018, 39(04):502

 微重力ZnTe:Cu 晶体生长及阴极荧光光谱(CL)分析

王仍 陆液 焦翠灵 李向阳

[摘要]利用Te熔剂方法,在天宫二号飞船上成功地生长了ZnTe:Cu晶体.微重力下生长的晶体质量优于地面生长的晶体,相同实验条件下,天宫二号上生长的晶体尺寸明显大于地面尺寸.通过阴极荧光光谱(CL)无损检测技术测试了5 kV、...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(01):47

 AlGaN基日盲紫外探测器成像系统设计与实现

王继强 许金通 王玲 谢晶 张燕 李向阳

[摘要]描述了基于AlGaN日盲紫外焦平面成像系统的硬件和软件设计,实现了对320×256阵列的AlGaN日盲紫外焦平面探测器输出信号的采集、图像处理和成像显示,针对紫外焦平面阵列(UVFPA)器件响应不均匀性,以及容易产生条纹状...

 PDF全文光学与光电技术 | 2018, 16(06):45

 GaN基紫外探测器读出电路注入效率

马丁 刘福浩 李向阳 张燕

[摘要]读出电路的注入效率是决定紫外焦平面探测器性能的重要因素。基于GaN基p-i-n结构日盲紫外探测器以及CTIA结构读出电路的等效模型, 对探测器信号读出的电荷注入效率进行了分析, 得到了注入效率的表达式。分析了注入效率...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(11):1120001

 子像元结构碲镉汞光伏器件暗电流特性的研究

乔辉 李向阳

[摘要]针对碲镉汞光伏器件的暗电流随着物理面积增大而急剧增加, 研究了子像元结构在降低大面积短波碲镉汞光伏器件暗电流方面的有效性。发现子像元结构在室温下相比常规结构可以有效降低器件的暗电流, 但当温度降到 180 K时...

 PDF全文红外技术 | 2017, 39(06):489

 背照式InGaN紫外探测器的制备与数值模拟

黄波 许金通 王玲 张燕 李向阳

[摘要]研究了背照式InGaN p-i-n结构的紫外探测器的制备与数值模拟。通过低压金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长p-GaN/i-InGaN/n-GaN外延片, 采用标准的Ⅲ-Ⅴ族器件制备工艺, 成功制备出p-i-n结构的InGaN紫外探测器。探测...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(04):498

 化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究

乔辉 陈心恬 赵水平 兰添翼 王妮丽 朱龙源 李向阳

[摘要]针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征, 认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(12):1204001

 AlGaN紫外探测器p电极的Ni/Au/Ni/Au欧姆接触结构研究

祁昌亚 胡正飞 张燕 李向阳 张振 童慧

[摘要]研究了AlGaN半导体p电极的Ni/Au/Ni/Au接触结构的性能和组织结构。退火 前,p电极接触具有明显的整流特性。经空气中550℃/3 min一 次退火和N2 气氛中750℃/30 s二 次退火后,电极呈现出了良好的欧姆接触。采用扫描电镜...

 PDF全文红外 | 2016, 37(02):22

 金掺杂HgCdTe气相外延生长及二次离子质谱研究

王仍 焦翠灵 张莉萍 陆液 张可锋 杜云辰 李向阳

[摘要]通过气相外延技术生长了Au掺杂的Hg1-xCdxTe薄膜材料。利用傅里叶光谱仪和金相显微镜对外延材料进行了表征。通过二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS)技术分析了Au在Hg1-xCdxTe外延层以及CdZnTe衬底中...

 PDF全文红外 | 2016, 37(10):1

 感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性

乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳

[摘要]利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象, 等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):59

 中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma 辐照效应

乔辉 李淘 龚海梅 李向阳

[摘要]对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma 辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应: 电离效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):129

 金掺杂HgCdTe气相外延生长及二次离子质谱研究

王仍 焦翠灵 张莉萍 陆液 张可锋 杜云辰 李向阳

[摘要]通过气相外延技术生长了Au掺杂的Hg1-xCdxTe薄膜材料。利用傅里叶光谱仪和金相显微镜对外延材料进行了表征。通过二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS)技术分析了Au在Hg1-xCdxTe外延层以及CdZnTe衬底中...

 PDF全文红外 | 2016, 27(10):1

 高斯光束场分布对相干探测混频效率的影响

李向阳 马宗峰 石德乐

[摘要]:在相干探测系统中,信号光与本振光在探测器上进行混频产生中频信号,实现将携带目标信息的信号光转置与放大,实现了近量子噪声限的探测方式。为了有效利用回波信号获得良好的探测性能,有必要对两束光的混频特性进...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(02):0539

 集成浸没透镜结构碲镉汞光伏器件的研制

乔辉 王仍 焦翠玲 龚玮 李向阳

[摘要]采用等温气相外延方法(Isothermal Vapor Phase Epitaxy, ISOVPE)在CdZnTe衬底上生长出碲镉汞外延材料。 在此基础上研制出在近室温条件下工作、具有集成浸没透镜结构的碲镉汞光伏器件, 器件的工作波段为2.5 m~3.2 m。...

 PDF全文红外 | 2015, 36(03):16

 地平仪用薄膜型红外热敏探测器的制备研究

贾嘉 李向阳 侯云 黄志明 蔡愚

[摘要]红外地平仪是卫星姿态控制系统的重要设备之一,而热敏电阻红外探头又是 红外地平仪的一个关键部件,其质量会直接影响地平仪的性能和可靠性。随着近代空间技术的 不断发展,下一代红外地平仪对研制高可靠性、长线列的...

 PDF全文红外 | 2015, 36(12):8

 ICPCVD-SiNx对GaN/AlGaN基紫外探测器的钝化效果的研究

刘秀娟 张燕 李向阳

[摘要]采用ICPCVD-SiNx薄膜对GaN/AlGaN基紫外探测器进行钝化, 从薄膜绝缘特性、钝化效果两方面, 对ICPCVD-SiNx、磁控溅射-SiOx、PECVD-SiOx和PECVD-SiNx四种钝化膜进行对比。制作了钝化膜/GaN MIS器件, 通过测试MIS器件漏电...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(01):20

 Au掺杂碲镉汞气相外延生长及电学性能

王仍 焦翠灵 徐国庆 张莉萍 张可锋 陆液 杜云辰 邵秀华 林杏潮 李向阳

[摘要]采用气相外延技术生长Au掺杂的Hg1-xCdxTe薄膜材料, 利用范德堡法对薄膜材料进行电学性能表征.通过变温霍尔测量, 分析了常规Au掺杂p型薄膜的霍尔系数和霍尔迁移率随温度的变化, 利用二次离子质谱(SIMS)分析薄膜中Au的...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(04):432

 离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进

贾 嘉 刘诗嘉 刘向阳 孙 艳 李向阳

[摘要]高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大, 沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机, 尝试了三种提高深宽比的方法: 选择不同的光刻胶做掩模、改变...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):282

 利用ICPCVD方法在GaN上沉积氧化硅薄膜的特性

刘秀娟 张燕 李向阳

[摘要]使用感应耦合等离子体化学气相沉积(Inductively coupled plasma chemical vapor deposition, ICPCVD)方法在GaN上沉积SiOx薄膜, 生长参数中采用不同RF功率, 研究RF功率对薄膜物理性能和电学性能的影响.结果发现, 随着...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(01):23

 干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究

徐鹏霄 乔辉 王仍 刘诗嘉 曾巧玉 张可锋 李向阳

[摘要]针对现有微透镜加工方法难以在红外探测器衬底材料CdZnTe上实现大孔径、深浮雕微透镜制备, 提出了一种利用ICP-RIE干法刻蚀结合化学湿法腐蚀制备折射微透镜的方法, 通过采用多次光刻套刻后分别对CdZnTe材料进行高刻蚀速...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(06):1022

 InGaN紫外探测器的制备与性能研究

卢怡丹 王立伟 张燕 李向阳

[摘要]介绍了InGaN紫外探测器的研制过程, 并给出了器件的性能。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长GaN外延材料, 通过刻蚀、钝化、欧姆接触电极等工艺, 制作了正照射单元In0.09Ga0.91N紫外探测芯片。并对该芯片进行了...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(05):785

 像素级数字化紫外焦平面读出电路的研究

徐斌 袁永刚 李向阳

[摘要]为提高紫外焦平面组件成像质量, 提出了可用于紫外焦平面的像素级数字化读出电路结构。针对紫外信号微弱及焦平面探测器像素面积小的特点, 设计了基于电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier, CTIA)...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(05):768

 离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度

徐国庆 刘向阳 王仍 储开慧 汤亦聃 乔辉 贾嘉 李向阳

[摘要]用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔, 利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现, 在相同的刻蚀条件下, n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时, n...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(05):477

 AlGaN基p-i-n光电探测器负响应现象研究

刘福浩 许金通 刘飞 王立伟 张燕 李向阳

[摘要]对AlGaN基p-i-n光电探测器的负光电响应特性进行研究,从实验上证实了器件中p型接触电极的肖特基特性是导致该现象的主导因素.不同偏压下的响应光谱表明,这些AlGaN光伏器件中存在较为明显的光导响应特性.光照和暗背景...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):386-390

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