首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 光学仪器 '李向阳', 共找到 1个内容。

   将选定结果: 

 HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究

储开慧 乔辉 汤英文 陈江峰 胡亚春 贾嘉 李向阳 龚海梅

[摘要]在HgCdTe光伏探测器件SiO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和Ar+刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件.对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):56-59

首页上一页1下一页尾页