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 GaN基512×1元紫外长线列焦平面探测器组件

张燕 储开慧 邵秀梅 袁永刚 刘大福 陈新禹 李向阳

[摘要]介绍了GaN基512×1元紫外长线列焦平面探测器组件的研制过程,并给出了器件的性能。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长的多层AlGaN外延材料,通过刻蚀、钝化、欧姆接触电极制备等工艺,制作了256×1的背照...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(12):3515-3518

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