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 基于盖革模式雪崩光电二极管紫外计数系统

尹 文 许金通 张惠鹰 李向阳

[摘要]针对工作在盖革模式下的硅基雪崩光电二极管(APD)进行了接收电路的设计, 通过主动淬灭加快恢复的方式, 对APD偏压进行调控, 利用单稳态触发器使淬灭信号和恢复信号独立控制APD阳极的电压, 从而同时控制淬灭时间和恢复时...

 PDF全文半导体光电 | 2019, 40(04):571

 紫外焦平面探测器读出电路抗辐照加固设计

马丁 乔辉 刘福浩 张燕 李向阳

[摘要]分析了MOS器件的辐照特性及辐照失效机理。基于Global Foundries 0.35μm CMOS工艺, 设计了一款320×256抗辐照加固紫外焦平面读出电路。该电路数字部分MOS管采用环形栅和双环保护进行加固, 并在读出电路表面交替生...

 PDF全文半导体光电 | 2018, 39(04):502

 背照式InGaN紫外探测器的制备与数值模拟

黄波 许金通 王玲 张燕 李向阳

[摘要]研究了背照式InGaN p-i-n结构的紫外探测器的制备与数值模拟。通过低压金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长p-GaN/i-InGaN/n-GaN外延片, 采用标准的Ⅲ-Ⅴ族器件制备工艺, 成功制备出p-i-n结构的InGaN紫外探测器。探测...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(04):498

 感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性

乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳

[摘要]利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象, 等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):59

 ICPCVD-SiNx对GaN/AlGaN基紫外探测器的钝化效果的研究

刘秀娟 张燕 李向阳

[摘要]采用ICPCVD-SiNx薄膜对GaN/AlGaN基紫外探测器进行钝化, 从薄膜绝缘特性、钝化效果两方面, 对ICPCVD-SiNx、磁控溅射-SiOx、PECVD-SiOx和PECVD-SiNx四种钝化膜进行对比。制作了钝化膜/GaN MIS器件, 通过测试MIS器件漏电...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(01):20

 干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究

徐鹏霄 乔辉 王仍 刘诗嘉 曾巧玉 张可锋 李向阳

[摘要]针对现有微透镜加工方法难以在红外探测器衬底材料CdZnTe上实现大孔径、深浮雕微透镜制备, 提出了一种利用ICP-RIE干法刻蚀结合化学湿法腐蚀制备折射微透镜的方法, 通过采用多次光刻套刻后分别对CdZnTe材料进行高刻蚀速...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(06):1022

 InGaN紫外探测器的制备与性能研究

卢怡丹 王立伟 张燕 李向阳

[摘要]介绍了InGaN紫外探测器的研制过程, 并给出了器件的性能。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长GaN外延材料, 通过刻蚀、钝化、欧姆接触电极等工艺, 制作了正照射单元In0.09Ga0.91N紫外探测芯片。并对该芯片进行了...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(05):785

 像素级数字化紫外焦平面读出电路的研究

徐斌 袁永刚 李向阳

[摘要]为提高紫外焦平面组件成像质量, 提出了可用于紫外焦平面的像素级数字化读出电路结构。针对紫外信号微弱及焦平面探测器像素面积小的特点, 设计了基于电容反馈跨阻放大器(Capacitive Trans-Impedance Amplifier, CTIA)...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(05):768

 日盲型AlGaN pin串联紫外探测器

陶利友 张燕 刘福浩 李向阳

[摘要]对采用MOCVD生长的AlGaN pin结构上制备的背照日盲型3×3 AlGaN串联紫外探测器进行了光电性能的研究。室温下单元探测器的峰值响应在278nm为0.03A/W。串联器件的正向开启电压随器件个数增加而增大,串联特性使得其...

 PDF全文半导体光电 | 2013, 34(05):738-741

 GaN基p-i-n器件振动噪声研究

刘飞 刘福浩 袁永刚 李向阳

[摘要]振动环境中, GaN基p-i-n器件的噪声会急剧增加, 这限制了器件的探测能力。利用力锤和振动台分别模拟冲击振动和随机振动环境, 研究了器件噪声在不同振动条件下的变化规律。实验结果表明, 在冲击振动中, 器件噪声呈现出...

 PDF全文半导体光电 | 2013, 34(04):560-563

 HgCdTe材料的溴-甲醇抛光工艺研究

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]碲镉汞(HgCdTe)红外探测器制备中的化学-机械抛光工艺会在碲镉汞材料表面形成一定深度的损伤层。用溴-甲醇化学机械抛光取代溴腐蚀工艺, 有效地降低了抛光过程所产生的表面损伤。在溴-甲醇抛光工艺中, 可变参数有溶液的...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(05):683-685

 中波HgCdTe光导探测器组件的故障树和失效研究

王韡 许金通 周青 张立瑶 李向阳

[摘要]讨论了近室温工作的HgCdTe中波光导探测器组件的可靠性问题, 包括组件封装失效、引线键合失效和探测器的性能衰减等。通过收集探测器组件的失效信息, 对其失效物理化学机制、制造工艺和探测器参数进行了分析, 建立了组...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(05):627-631

 紫外光通信误码率测试系统设计

王荣阳 刘福浩 李向阳

[摘要]为了对紫外光通信系统的传输性能进行定量分析, 设计了基于FPGA的误码序列发送和接收系统, 并在上位机利用labVIEW程序实现了对误码的分析和计算。该系统发射端测试序列采用9阶伪随机m序列, 并按照一定的速率传送给LED...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(05):707-710

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