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 基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟

刘向阳 徐国庆 贾 嘉 孙 艳 李向阳

[摘要]用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型, 模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证, 结果表明...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(03):331

 天宫二号ZnTe:Cu晶体生长及能谱分析

王 仍 陆 液 焦翠灵 乔 辉 李向阳

[摘要]在微重力条件下生长了ZnTe:Cu晶体, 对其进行了光学和能谱分析, 在晶锭尾部最大结晶区对其进行了组分分析.对于尾部的轴向分量, 在空间样品中Cu的成分均匀性优于地面样品, 并且Te/Zn比的样品高于空间样品.尾部空间样品...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(03):281

 微重力ZnTe:Cu 晶体生长及阴极荧光光谱(CL)分析

王仍 陆液 焦翠灵 李向阳

[摘要]利用Te熔剂方法,在天宫二号飞船上成功地生长了ZnTe:Cu晶体.微重力下生长的晶体质量优于地面生长的晶体,相同实验条件下,天宫二号上生长的晶体尺寸明显大于地面尺寸.通过阴极荧光光谱(CL)无损检测技术测试了5 kV、...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(01):47

 中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma 辐照效应

乔辉 李淘 龚海梅 李向阳

[摘要]对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma 辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应: 电离效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):129

 Au掺杂碲镉汞气相外延生长及电学性能

王仍 焦翠灵 徐国庆 张莉萍 张可锋 陆液 杜云辰 邵秀华 林杏潮 李向阳

[摘要]采用气相外延技术生长Au掺杂的Hg1-xCdxTe薄膜材料, 利用范德堡法对薄膜材料进行电学性能表征.通过变温霍尔测量, 分析了常规Au掺杂p型薄膜的霍尔系数和霍尔迁移率随温度的变化, 利用二次离子质谱(SIMS)分析薄膜中Au的...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(04):432

 离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进

贾 嘉 刘诗嘉 刘向阳 孙 艳 李向阳

[摘要]高深宽比离子束刻蚀技术是实现碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术.国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大, 沟槽深宽比较低.针对Ar离子束刻蚀机, 尝试了三种提高深宽比的方法: 选择不同的光刻胶做掩模、改变...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):282

 利用ICPCVD方法在GaN上沉积氧化硅薄膜的特性

刘秀娟 张燕 李向阳

[摘要]使用感应耦合等离子体化学气相沉积(Inductively coupled plasma chemical vapor deposition, ICPCVD)方法在GaN上沉积SiOx薄膜, 生长参数中采用不同RF功率, 研究RF功率对薄膜物理性能和电学性能的影响.结果发现, 随着...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(01):23

 离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度

徐国庆 刘向阳 王仍 储开慧 汤亦聃 乔辉 贾嘉 李向阳

[摘要]用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔, 利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现, 在相同的刻蚀条件下, n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时, n...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(05):477

 AlGaN基p-i-n光电探测器负响应现象研究

刘福浩 许金通 刘飞 王立伟 张燕 李向阳

[摘要]对AlGaN基p-i-n光电探测器的负光电响应特性进行研究,从实验上证实了器件中p型接触电极的肖特基特性是导致该现象的主导因素.不同偏压下的响应光谱表明,这些AlGaN光伏器件中存在较为明显的光导响应特性.光照和暗背景...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):386-390

 利用二次阳极氧化方法降低N型碲镉汞材料表面复合速度

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]利用微波反射光电导衰退法比较了采用一次阳极氧化和二次阳极氧化的N型碲镉汞材料的非平衡载流子寿命及其随温度的变化,通过与理论值进行比较拟合得到了碲镉汞材料表面复合速度随温度的变化曲线.结果发现,二次阳极氧...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):391-394

 碲镉汞光导器件振动噪声

刘飞 袁永刚 罗毅 王继强 李向阳

[摘要]利用振动台和频谱分析仪对碲镉汞中波光导器件的噪声进行了研究.随机振动的实验结果表明,振动环境中测量到的噪声随着随机振动功率谱密度的增大而线性增加,其比例系数是分段的,当振动功率谱密度小于0.01 g2/Hz,为3...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(02):129-132

 表面处理工艺对于N型HgCdTe材料和光导器件的影响

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]报导了采用溴腐蚀和溴抛光两种表面处理工艺对于HgCdTe材料表面的影响,测试了材料的载流子浓度随迁移率分布曲线和迁移率变温曲线,将材料制成光导器件后测试了器件的电阻变温曲线,比较了溴腐蚀和溴抛光所得器件电阻...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2013, 32(06):498-501

 长波碲镉汞材料阳极氧化膜/ZnS界面的电学特性参数

王妮丽 刘诗嘉 兰添翼 赵水平 李向阳

[摘要]通过碲镉汞阳极氧化膜和磁控溅射ZnS膜, 结合HgCdTe器件工艺, 成功制备了以阳极氧化膜和磁控溅射ZnS双层钝化膜为绝缘层的“长波弱P”型HgCdTe MIS器件.通过对器件的C-V特性实验分析, 获得了长波HgCdTe材料的阳极氧化膜...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2013, 32(02):132-135

 Hg1-xCdxTe晶体生长及太赫兹性能研究

王仍 林杏潮 张莉萍 张可锋 焦翠灵 陆液 邵秀华 李向阳 葛进 胡淑红 戴宁

[摘要]利用移动加热区方法(THM)生长了不同Cd组分的Hg1-xCdxTe晶体,通过傅立叶光谱仪和太赫兹时域光谱系统,研究了不同Cd组分Hg1-xCdxTe晶体在红外波段和太赫兹波段的透射光谱.当Cd组分小于0.279时,Hg1-xCdxTe材料在0.2~1....

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2011, 30(05):401-405

 利用迁移率谱技术研究p型碲镉汞材料

张可锋 林铁 王妮丽 王仍 焦翠灵 林杏潮 张莉萍 李向阳

[摘要]窄禁带碲镉汞(HgCdTe)是电子和空穴混合导电的多载流子体系材料, 特别是对于p材料, 由于电子和空穴的迁移率相差大约两个数量级(b=μe/μh≈102), 更容易受到少数载流子电子的干扰, 因此单一磁场的霍尔测试无法准确有效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2011, 30(04):301-304

 平面型GaN p-n结探测器的制备与性能

包西昌 张文静 刘诗嘉 李超 李向阳

[摘要]采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上制备了pGaN单晶薄膜.高温(>1100℃)处理及未处理样品的双晶摇摆曲线测试表明高于1150℃会使材料的晶体质量明显变差,这为平面型紫外探测器制备中的部分注入...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2011, 30(03):246-249

 GaN基肖特基器件中的反常电容特性

储开慧 张文静 许金通 李向阳

[摘要]研究了测试频率为0.3~1.5MHz时GaN基肖特基器件的电容特性.实验发现,在Au/i-GaN肖特基器件的电容-电压(C-V)特性曲线中,出现了峰和负值电容,而Au/i-Al0.45Ga0.55N肖特基器件的C-V特性曲线中则既没有峰也没有负值电...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(03):161-166

 不同钝化层结构的长波碲镉汞光伏探测器的γ辐照效应

乔辉 邓屹 胡伟达 胡晓宁 张勤耀 李向阳 龚海梅

[摘要]对采用单层ZnS和双层CdTe/ZnS两种钝化层结构的长波碲镉汞光伏器件进行了实时γ辐照效应研究.通过辐照过程中实时测试器件的电流-电压特性, 发现随着辐照剂量的增加, 两种器件表现出不同的辐照效应.结合光伏器件的电流...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(01):6-9

 红外焦平面可靠性封装技术

龚海梅 张亚妮 朱三根 王小坤 刘大福 董德平 游 达 李向阳 王 平 朱龙源 方家熊

[摘要]系统研究了红外焦平面组装、封装及其可靠性技术, 解决了组件结构模拟、子模块精确定位、扁平引线设计、 低漏率激光焊接、杜瓦内表面气体解吸分析及其解决途径等理论与技术问题, 进行了组件可靠性、器件的高能粒子 辐...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2009, 28(02):85-89

 碲镉汞光伏型探测器的氢化处理研究

乔辉 周文洪 叶振华 李向阳 龚海梅

[摘要]利用氢等离子体方法研究了氢化处理对碲镉汞光伏型红外探测器性能的影响,发现对ZnS介质层钝化的器件进行氢化处理后,器件的信噪比和零偏电阻有显著的改善.通过采取在氢化过程中进行光刻胶保护的方法,发现氢化作用主要发...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2007, 26(05):326-328

 变磁场I-V法对碲镉汞光伏器件少子扩散特性的研究

贾嘉 陈新禹 李向阳 龚海梅

[摘要]零偏压电阻-面积乘积(R0A)和反向饱和电流密度J0是决定光电二极管性能的重要参数.提出了一种对碲镉汞(Hg 1-xCdxTe)光伏器件的少子扩散特性进行研究的有效方法.利用变磁场下的电流-电压(I-V)测试,得到了组分x在0.5与0....

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2005, 24(02):140-142

 室温短波碲镉汞结区的LBIC方法研究

贾嘉 陈贵宾 龚海梅 李向阳

[摘要]室温短波碲镉汞焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器,其有效光敏面面积扩大的问题越来越突出.我们利用激光诱导电流(LBIC)检测系统测试了室温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2005, 24(01):11-14

 GaN折射率的椭圆偏振光谱研究

连传昕 李向阳 刘骥

[摘要]利用400~1200nm波段的椭圆偏振光谱对生长在蓝宝石衬底上的非故意掺杂纤锌矿氮化镓(GaN)外延薄膜进行了研究.通过拟合实验数据获得了GaN薄膜的厚度和在可见-近红外区域的折射率色散关系,即n2(λ)=2.262+330.12/((λ/n...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2004, 23(04):262-264

 1 MeV电子辐照对碲镉汞中波光导器件的影响

乔辉 贾嘉 陈新禹 李向阳 龚海梅

[摘要]研究了1MeV电子辐照对中波碲镉汞光导器件的影响.通过测试辐照前后光导器件的室温和低温体电阻、响应光谱、电流响应率和探测率等性能参数,结果发现经过电子辐照,器件的峰值和截止波长在辐照后向短波方向移动.在辐照剂...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2004, 23(03):172-175

 碲镉汞p-on-n光伏器件优化掺杂的理论计算

李向阳 方家熊

[摘要]从理论上考虑了碲镉汞长波光电二极管的主要电流机制,并采用合适的参数对R0A进行了计算.结果表明,由于隧道电流的限制,对于一定的衬底浓度,选择p区掺杂的浓度不宜过大,反之亦然.计算得到了优化掺杂浓度与衬底浓度的关系...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2002, 21(01):71-73

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