首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '李显凌', 共找到 11个内容。

   将选定结果: 

 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析

董世则 郭 抗 李显凌 陈华男 张德福

[摘要]设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构, 使光学元件在具备较高调节精度的同时, 保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度, 以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数, 对狭缝柔性结构尺...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(06):790

 电容传感器线性度标定平台

张德福 葛 川 李显凌 倪明阳 郭 抗

[摘要]设计了一种电容位移传感器在线标定平台, 用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴, 故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能, 保证了...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(01):143

 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析

东立剑 赵磊 张德福 于新峰 倪明阳 李显凌

[摘要]为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5 像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(07):072203

 光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计

张德福 李显凌 东立剑 孙振

[摘要]为了找出耦合误差产生的根源, 探讨了柔性偏心机构设计方法.首先, 给出了机构组成和工作原理;然后, 基于柔度矩阵法对机构建模, 分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度;最后, 综合得到机构的整体柔度...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(09):0922001

 光纤激光精密位移调整技术实验研究

王东平 吴志会 倪明阳 李显凌

[摘要]为了将激光弯曲成形技术应用于精密位移调整领域实现亚微米精度的位移调整,自行设计和搭建了激光微位移调整与测量平台,将光纤激光通过线性透镜和扫描振镜聚焦在不锈钢薄板上作匀速扫描运动,实时监测加工过程样件自...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(09):091201

 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响

张德福 李显凌

[摘要]针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0716004

 胶粘剂对光机结构动力学特性的影响

吴志会 王东平 周连生 倪明阳 李显凌

[摘要]胶粘剂广泛应用于光机结构中, 其对光机结构的动力学特性有不可忽视的影响。本文采用有限元建模的方法对含胶粘剂的透镜镜组进行动力学特性分析。建立忽略胶层、节点耦合以及“粘合单元 ”连接胶合面三种有限元模型, 并...

 PDF全文光电工程 | 2014, 41(06):75-80

 柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计

郭抗 陈华男 倪明阳 李显凌

[摘要]在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时,为了实现更大的调节行程,采用柔性环片结构,设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型,分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(s2):s222001

 光学元件双转子抛光技术中类高斯型去除函数建模与逼近

陈华男 王君林 李显凌 王绍治

[摘要]在Preston假设基础上, 研究并推导了光学元件抛光过程中“花瓣”型截面磨头在双转子运动形式下的去除函数.提出了“花瓣”型截面磨头的离散点弧长表达方法, 并讨论了该方法的适用范围; 基于离散点弧长法, 推导了“花瓣...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(03):282-287

 数控非接触式超光滑光学元件加工机床的设计

李显凌

[摘要]基于数控技术,提出了一种非接触式光学元件表面超光滑液体抛光方法。通过磨头中心孔为抛光表面提供抛光液,抛光液在磨头自转的带动下与光学元件表面相互作用,实现光学元件表面材料的微量去除,利用计算机控制抛光磨...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(04):719-726

 基于改进MC算法的CT/MR图像三维重建

李显凌

[摘要]针对MC (Marching Cubes)算法重建后模型表面的不光滑性和模型表面三角面片数量大的缺点,提出了在保证一定精度的前提下减少小面片的处理方式。通过对等值面进行三维空间上的方向平滑来代替等值面上的三维坐标平滑,达...

 PDF全文液晶与显示 | 2011, 26(05):683-687

首页上一页1下一页尾页