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 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华

[摘要]衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0904001

 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测

刘兆武 李文昊 巴音贺希格 宋莹 姜珊 李晓天 吕强

[摘要]为了提高二维工作台的定位精度, 提出了一种在线检测二维工作台x轴测量镜面形的方法。无需y轴测量镜, 利用三路激光干涉仪检测工作台x轴测量镜的二次微分信息, 对所得数据进行二次积分得到工作台测量镜的精确面形。分析...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0104004

 中阶梯光栅衍射效率及杂散光检测系统设计

沈春洋 崔继承 孙 慈 王 玮 陈建军 李晓天

[摘要]中阶梯光栅具有刻线密度低、 闪耀角度大、 衍射级次高、 光谱范围宽、 色散率大、 光谱分辨率高等一系列突出优点, 近年来由于其优良的性能而倍受青睐。 作为评价中阶梯光栅质量的衍射效率和杂散光系数直接体现了中阶...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2017, 37(08):2603

 基于傅里叶光学原理的新型凹面光栅衍射效率测量方法

马振予 齐向东 李晓天 巴音贺希格 姚雪峰 吉日嘎兰图 张善文 于海利

[摘要]凹面衍射光栅兼具色散分光与光束聚焦功能, 同时具有像差校正、 低杂散光、 无鬼线和高信噪比等优势而受到光谱仪器领域的广泛关注。 衍射效率作为凹面光栅最重要的技术指标之一, 其测量技术水平逐渐成为光谱仪器行业最...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2017, 37(04):1279

 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析

卢禹先 齐向东 于海利 李晓天 张善文 姜珊 尹禄

[摘要]复制拼接是天文领域目前制作大面积平面衍射光栅的重要方法之一。光栅复制拼接需要相应的拼接系统,从成本控制和光栅研制周期角度考虑,一套常规拼接系统应适用于不同参数光栅及不同检测波长的拼接,并且系统拼接精度...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0508005

 罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析

周辉 张善文 崔继承 王玮 赵旭龙 李晓天

[摘要]罗兰光栅作为罗兰光栅光谱仪的核心分光元件对整个仪器至关重要, 罗兰光栅在制造和使用过程中主要存在刻线误差、光栅的曲率半径误差和定位误差。采用光线追迹的办法分析罗兰光栅的各种误差对罗兰光栅光谱仪接收能量的...

 PDF全文光学技术 | 2016, 42(05):445

 C-T型棱镜透射式中阶梯光栅光谱仪谱图还原模型

张锐 巴音贺希格 杨晋 尹禄 崔继承 李晓天

[摘要]中阶梯光栅光谱仪通过交叉色散形成的二维光谱图,无法直接对入射光的波长进行光谱标定。为此,建立了C-T型棱镜透射式中阶梯光栅光谱仪的谱图还原模型,分别分析了棱镜和光栅色散方向的色散规律以及棱镜与光栅之间的相...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(07):0723001

 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法

卢禹先 齐向东 糜小涛 姜珊 于海利 李晓天 尹禄

[摘要]光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0505001

 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法

杨超 于海利 张善文 于宏柱 李晓天 唐玉国

[摘要]衍射波前质量是刻划光栅的重要性能指标之一,对于机械刻划光栅,刻划机的刻线定位精度直接影响光栅的波前质量。建立了刻划机固有存在的刻线位置和转角误差与光栅衍射波前误差间的数学关系,分析了各误差对衍射波前质...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(01):0108002

 光栅-平面镜型可调式空间外差光谱仪

巴音贺希格 李涛涛 潘明忠 崔继承 王玮 李晓天

[摘要]针对空间外差光谱技术测量光谱范围较窄(10 nm左右),制约其应用范围的问题,提出了一种光栅-平面镜结构的可调式空间外差光谱仪系统。该系统将传统的双平面光栅式空间外差光谱仪中的一块光栅换成平面镜,让另一块光...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(12):3295

 光栅刻划机300 mm行程工作台研制及其自适应控制方法

李晓天 于海利 齐向东 朱继伟 于宏柱 巴音贺希格

[摘要]光栅刻划机工作台性能及其控制算法是直接影响大面积光栅刻划精度的重要原因。为了提高光栅刻划机运行精度,研制了采用压电陶瓷进行微定位控制的300 mm行程宏微两级工作台,建立了微定位工作台数学模型,仿真分析了工...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(06):0608001

 PGP成像光谱仪的全视场自动化光谱定标方法

孙慈 巴音贺希格 崔继承 潘明忠 李晓天 唐玉国

[摘要]为了对PGP成像光谱仪所获得的光谱数据进行定量化分析, 需对PGP成像光谱仪进行光谱定标, 以获得各光谱通道的中心波长、 光谱分辨率及成像光谱仪的光谱弯曲等光谱特性信息。采用单色准直光法设计了一套全视场自动化的光...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2014, 34(08):2289-2292

 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正

李晓天 齐向东 于海利 高键翔 冯树龙 巴音贺希格

[摘要]考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2039-2046

 光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响

杨超 于海利 冯树龙 李晓天 齐向东 姜珊 唐玉国

[摘要]采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响。针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(10):2674

 机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法

李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国

[摘要]机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(03):0308009

 刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法

李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国

[摘要]光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(11):1105001

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