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 532 nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究

李海鸥 韦春荣 王晓峰 张紫辰 潘岭峰

[摘要]根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件, 将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532 nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验, 研究了激光能量、划片速度及聚焦位置对划片效果的影响。结果表明, 基于平顶光束的激光划...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091407

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