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 不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较

杨相会 沈卫星 张雪洁 马晓君

[摘要]为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实测PSD曲线进行对比分析。结果表明,...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(09):0904002

 不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较

杨相会 沈卫星 张雪洁 马晓君

[摘要]为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律,获得相对真实的功率谱密度(PSD)分布,分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品,并对一维实测PSD曲线进行对比分析。结果表明,...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2016, 14(01):0904002

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