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 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法

林强 金春水 向鹏 曹健林

[摘要]介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相...

 PDF全文光学 精密工程 | 2003, 11(02):144-150

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