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 离子后处理对TiO2光学薄膜及损伤特性的影响

毛思达 邹永刚 范 杰 兰云萍 王海珠 张家斌 董家宁 马晓辉

[摘要]为了进一步提高TiO2薄膜的光学特性和激光损伤阈值, 采用电子束蒸发技术在K9玻璃上沉积了单层TiO2薄膜, 并用Ar/O混合等离子体对样品进行后处理。通过研究薄膜光谱特性、表面缺陷密度、薄膜表面形貌、薄膜损伤阈值以及...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(07):1451

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