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 激光扫描红外热波成像在膜厚测量中的应用

江海军 陈 力

[摘要]随着涂层及薄膜材料的广泛应用,工业界对膜厚的测量与质量控制提出了更高的要求,膜层厚度测试变得尤为重要。针对目前检测方法的不足,介绍了一种激光扫描红外热波测量膜厚的方法。采用“温度波线行波法”分析,使长...

 PDF全文红外技术 | 2017, 39(12):1144

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