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 感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶异常变性的改善

徐纯洁 张福刚 崔立加 张雪峰 徐 浩 刘日久 李根范 王世凯 郑载润

[摘要]通过不同感应耦合等离子体刻蚀条件下进行的玻璃基板发生光刻胶变性的位置, 研究光刻胶变性与下部电极结构的相关性。研究结果表明: 下部电极的Dam区对玻璃基板的冷却效果较差, 导致该区域的玻璃基板上光刻胶容易产生变...

 PDF全文液晶与显示 | 2017, 32(04):265

 百微米芯径掺镱光子晶体光纤实现皮秒级脉冲放大输出

冯素雅 王 孟 王世凯 于春雷 张 磊 陈丹平 胡丽丽

[摘要]有源光子晶体光纤的芯径较大，主要用于实现高峰值功率（高能量）的脉冲放大输出。目前只有NKT Photonics公司可提供商品化的掺镱（Yb3+）有源光子晶体光纤，其最大芯径约为85 μm。光子晶体光纤的制作主要受光纤预制...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(11):1115001

 溶胶凝胶法制备的掺铥石英玻璃光谱性质及光纤激光性能

李志兰 王世凯 王欣 关珮雯 李文涛 王孟 于春雷 张磊 李科峰 陈丹平 胡丽丽

[摘要]用溶胶凝胶法制备了摩尔百分比为0.3Tm2O3-0.3xAl2O3- (100-0.3-0.3x)SiO2 (x=8, 10, 15, 20)的一系列铥掺杂石英（ATS）玻璃。研究了样品的光谱性质，1811nm处最大发射截面为6.39×10-21 cm2，最长荧光寿命为645 ...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(08):0806003