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 THz焦平面探测器及其成像技术发展综述

金伟其 田莉 王宏臣 蔡毅 王鹏

[摘要]THz探测器作为 THz成像系统的核心器件, 一定程度上制约着 THz成像技术的发展, 鉴于单元/多元探测器的光机扫描成像模式存在的问题, THz焦平面探测器成像成为 THz探测技术发展的方向。介绍了近年来国内外在 THz焦平面探...

 PDF全文红外技术 | 2013, 35(04):187-194

 磁控溅射纳米VO2(B相)热敏薄膜的制备

何少伟 陈鹏杰 胡庆 董翔 蒋亚东 赖建军 王宏臣 黄光

[摘要]利用磁控反应溅射镀膜方法在低温(250℃)条件下制备了主要成分为B相亚稳态二氧化钒(VO2)的薄膜材料。电学性能测试表明: 室温下该薄膜的方块电阻为50kΩ左右, 电阻温度系数为-2.4%/K, 可以作为非致冷红外微测热辐射热...

 PDF全文半导体光电 | 2012, 33(04):500-502

 CdTe多晶薄膜的同质结与异质结

王宏臣

[摘要]衬底温度对CVD生长CdTe多晶薄膜导电性能有决定性影响,衬底温度高于560℃为p型,衬底温度愈高,空穴浓度愈大;低于520℃为n型,在一定温度范围内,衬底生长温度越低,电子浓度越大.采用CVD方法先在高温下生长p型CdTe...

 PDF全文光电技术应用 | 2009, 24(02):44-46

 128元非致冷氧化钒红外探测器的制作

王宏臣 易新建 陈四海 黄光 肖静

[摘要]采用新工艺在氮化硅衬底上制备了室温时电阻温度系数为-0.021K-1的氧化钒薄膜,以此为基础,利用光刻和反应离子刻蚀工艺在硅衬底上制作了128元氧化钒红外探测器.为了降低探测器敏感元与衬底间的热导,设计制作了自支撑的...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2004, 23(02):99-102

 非致冷红外探测器用氧化钒多晶薄膜的制备

王宏臣 易新建 陈四海 黄光 李雄伟

[摘要]采用离子束溅射镀膜和氧化工艺在Si(110)和石英衬底上制备了用于非致冷红外探测器阵列热敏材料的混合相氧化钒多晶薄膜.扫描电子显微镜(SEM)照片显示:薄膜表面呈针状晶粒状,而且薄膜表面光滑、致密,均匀性好.测试结果表...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2004, 23(01):64-66

 氧化钒薄膜的制备及其光电特性研究

王宏臣 易新建 陈四海 黄光 李雄伟

[摘要]采用一种新工艺在Si和Si3N4衬底上制备了性能优良的氧化钒薄膜,并对其微观结构和光电特性进行了研究。测试结果表明采用新工艺所制备的氧化钒薄膜在相变前后电阻率变化达到3个数量级,红外透过率在相变前后改变达到60%。

 PDF全文中国激光 | 2003, 30(12):1107-1110

 Technique for Monolithic Fabrication of Microlens Arrays Integrated with Infrared CCD

CHEN Sihai(陈四海) YI Xinjian(易新建) WANG Hongchen(王宏臣) HE Miao(何 苗)

[摘要]

 PDF全文Chinese Journal of Lasers B | 2002, 11(05):356-363

 基于VOx薄膜8元线列非致冷微测辐射热红外探测器的制备

陈长虹 易新建 程祖海 张静 黄光 王宏臣

[摘要]报道了应用反应离子束溅射以及后退火工艺在石英玻璃以及Si(100)衬底上淀积混合相VOx多晶薄膜,并且在石英衬底上制备了实验用8元线列红外探测器.用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分别测试结果显示薄膜为表面光滑、致...

 PDF全文中国激光 | 2001, 28(12):1082-1084

 256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究

陈四海 易新建 王宏臣 孔令彬 马宏

[摘要]基于标量衍射理论设计了8位相菲涅尔衍射微透镜阵列.利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵(256×256)PtSi红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品(单元面积为30μm×40μm).测试结果表明,单片...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2001, 20(05):340-342

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