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   将选定结果: 

 软X射线并联平场光栅的设计

王庆博 刘正坤 陈火耀 王宇 付绍军

[摘要]为了拓宽软X射线平场全息凹面光栅的工作波段, 提出了并联平场全息凹面光栅的优化设计方法。利用遗传算法, 将两块工作波段不同的平场光栅设计在同一基底上。两块平场光栅的工作波段分别为2~5 nm 和5~30 nm, 两者使用结...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(08):0805001

 弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量

林继平 梁榉曦 刘正坤 王庆博 宝剑光 洪义麟 付绍军

[摘要]为实现大面积基片的均匀涂胶,设计组装了一台小型弯月面涂胶样机,实验了200 mm×200 mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了弯月面涂胶的胶厚分布,其胶厚均匀性峰谷值偏差低于5%。对弯月面涂胶系统引起的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(10):101017

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