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 菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析

邹文栋 刘佳 王星星 江茂清 龚勇清

[摘要]采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测, 并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据, 引入幅度参数表征法, 分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(05):1160-1166

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